[實用新型]多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構

有效

• 申請號: 201120299764.7
• 申請日: 2011-08-17
• 公開（公告）號: CN202203077U
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發明（設計）人: 張楊;張艷芷
• 申請（專利權）人: 北京金凱威通用機械有限公司
• 主分類號: F04B39/00
• 分類號: F04B39/00
• 代理公司: 北京雙收知識產權代理有限公司 11241
• 代理人: 左明坤

技術領域

本實用新型涉及一種活塞式氣體壓縮機，特別是涉及一種用于多晶硅行業的尾氣壓縮機的防泄漏結構。

背景技術

目前，在多晶硅行業用尾氣壓縮機中，氣缸內的壓縮介質是混合氣體，主要壓縮介質是氫氣，此外，還包括三氯氫硅、四氯化硅、二氯二氫硅、氯化氫等，由于壓縮介質的特殊性質，使得一旦壓縮腔體中的壓縮介質泄漏到機身內，就會使機身內的各處潤滑油與壓縮介質發生反應變質，生成粘稠的膠狀物質，堵塞油過濾器，影響傳動機構的潤滑，進而影響到整個尾氣壓縮機的正常運轉。

現有的尾氣壓縮機的防泄漏結構，是在氣缸與機身之間設置填料結構，并在填料與活塞桿之間設置浮動密封環進行動密封，然而，由于活塞桿一直在運動，活塞桿與填料之間的動密封不能保證絕對不泄漏介質，一旦氣缸內壓縮介質泄漏至機身內，就會帶來如上所述的一系列不利后果。因此，采取措施盡可能地減少氣缸內壓縮介質的泄漏，并對那些不可避免的泄漏介質使其在進入機身前及時排放掉，成為多晶硅行業對尾氣壓縮機防泄漏結構非常關注的技術問題。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是，提供一種結構簡單、具有較好密封效果以防止壓縮介質往機身側泄漏的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構。

本實用新型一種多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構，包括氣缸、機身，氣缸內活塞通過活塞桿與機身內連桿相連，還包括雙隔室中間座，雙隔室中間座位于氣缸與機身之間，包括氣缸側隔室和機身側隔室，上述兩隔室通過隔板分隔，氣缸側隔室與氣缸固定連接，機身側隔室與機身固定連接，其中氣缸側隔室與氣缸連接處上穿過活塞桿的位置設有主填料，隔板上穿過活塞桿的位置設有中間填料，機身側隔室與機身連接處上穿過活塞桿的位置設有擋油器填料，所述主填料、中間填料和擋油器填料均通過填料盒與雙隔室中間座固定連接，填料盒上開設有使活塞桿從中穿過的通孔，填料盒一端設有壓蓋，主填料、中間填料和擋油器填料均通過至少兩組浮動密封環與活塞桿動密封。

本實用新型與現有技術的不同之處在于，在氣缸與機身之間增設了雙隔室中間座結構，并分別在其與氣缸連接處、隔板處、與機身連接處的活塞桿穿過位置設置了密封填料，從而達到使氣缸與機身首先從空間上隔離，并在空間隔離的同時逐級密封，由此使得氣缸內壓縮介質與機身之間達到較好的密封效果，防止壓縮介質泄漏至機身內污染潤滑油，同時延長了壓縮機防泄漏結構的使用壽命。

本實用新型多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構，其中所述主填料通過至少四組浮動密封環與活塞桿動密封，主填料內設置氣室和充氣空腔，氣室與充氣空腔分別位于兩組浮動密封環之間，且環繞活塞桿并與活塞桿的外表面相接觸，充氣空腔設于氣室右側，所述氣缸側隔室上開設有第一排氣口和第一高壓進氣口，氣室通過管路與第一排氣口相連通，充氣空腔通過管路與第一高壓進氣口相連通，第一高壓進氣口的進氣端連接0.15-0.2Mpa的氫氣進氣管道。采用上述結構，是為了將氣缸內泄漏的壓縮介質在其泄漏至主填料內時通過第一排氣口排放出去，并在主填料處增加高壓氫氣阻塞密封裝置，阻止泄漏介質繼續往右側泄漏，使用氫氣高壓阻塞，是為了避免其他氣體如氮氣進入汽缸影響用戶的加工工藝。

本實用新型多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構，其中所述氣缸側隔室或機身側隔室上開設有第二高壓進氣口，第二高壓進氣口與位于中間填料與活塞桿之間且在兩組浮動密封環之間的間隙通過管路相連通。第二高壓進氣口的進氣端連接0.15-0.2Mpa的氮氣進氣管道。采用這種結構，是為了在中間填料處增加一級高壓氮氣阻塞密封，進一步加強整個氣封裝置的密封性能，阻止壓縮介質經中間填料進一步往機身側泄漏。

本實用新型多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構，其中所述機身側隔室上開設有第三高壓進氣口，第三高壓進氣口與位于擋油器填料與活塞桿之間且在兩組浮動密封環之間的間隙通過管路相連通，第三高壓進氣口的進氣端連接0.15-0.2Mpa的氮氣進氣管道。采用這種結構，是為了在擋油器填料處增加一級高壓氮氣阻塞密封，進一步加強整個氣封裝置的密封效果，阻止泄漏至此的壓縮介質往機身內泄漏。