[實用新型]多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構

有效

• 申請號: 201120299764.7
• 申請日: 2011-08-17
• 公開（公告）號: CN202203077U
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發明（設計）人: 張楊;張艷芷
• 申請（專利權）人: 北京金凱威通用機械有限公司
• 主分類號: F04B39/00
• 分類號: F04B39/00
• 代理公司: 北京雙收知識產權代理有限公司 11241
• 代理人: 左明坤

1.一種多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構，包括氣缸(1)、機身(2)，氣缸(1)內活塞(3)通過活塞桿(4)與機身(2)內連桿(5)相連，其特征在于：還包括雙隔室中間座，雙隔室中間座位于氣缸(1)與機身(2)之間，包括氣缸側隔室(6)和機身側隔室(7)，上述兩隔室(6、7)通過隔板(11)分隔，氣缸側隔室(6)與氣缸(1)固定連接，機身側隔室(7)與機身(2)固定連接，其中氣缸側隔室(6)與氣缸(1)連接處上穿過活塞桿(4)的位置設有主填料(8)，隔板(11)上穿過活塞桿(4)的位置設有中間填料(9)，機身側隔室(7)與機身(2)連接處上穿過活塞桿(4)的位置設有擋油器填料(10)，所述主填料(8)、中間填料(9)和擋油器填料(10)均通過填料盒(22)與雙隔室中間座固定連接，填料盒(22)上開設有使活塞桿(4)從中穿過的通孔，填料盒(22)一端設有壓蓋(33)，主填料(8)、中間填料(9)和擋油器填料(10)均通過至少兩組浮動密封環(12)與活塞桿(4)動密封。

2.根據權利要求1所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構，其特征在于：所述主填料(8)通過至少四組浮動密封環(12)與活塞桿(4)動密封，主填料(8)內設置氣室(14)和充氣空腔(15)，氣室(14)與充氣空腔(15)分別位于兩組浮動密封環(12)之間，且環繞活塞桿(4)并與活塞桿(4)的外表面相接觸，充氣空腔(15)設于氣室(14)右側，所述氣缸側隔室(6)上開設有第一排氣口(16)和第一高壓進氣口(17)，氣室(14)通過管路與第一排氣口(16)相連通，充氣空腔(15)通過管路與第一高壓進氣口(17)相連通。

3.根據權利要求2所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構，其特征在于：所述第一高壓進氣口(17)連接0.15-0.2Mpa的氫氣進氣管道。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構，其特征在于：所述氣缸側隔室(6)或機身側隔室(7)上開設有第二高壓進氣口(20)，第二高壓進氣口(20)與位于中間填料(9)與活塞桿(4)之間且在兩組浮動密封環(12)之間的間隙通過管路相連通。

5.根據權利要求4所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構，其特征在于：所述第二高壓進氣口(20)連接0.15-0.2Mpa的氮氣進氣管道。

6.根據權利要求1至3中任一項所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構，其特征在于：所述機身側隔室(7)上開設有第三高壓進氣口，第三高壓進氣口與位于擋油器填料(10)與活塞桿(4)之間且在兩組浮動密封環(12)之間的間隙通過管路相連通。

7.根據權利要求6所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構，其特征在于：所述第三高壓進氣口連接0.15-0.2Mpa的氮氣進氣管道。

8.根據權利要求6所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構，其特征在于：所述機身側隔室(7)上開設有吹掃氣進氣口(18)和第二排氣口(19)。

9.根據權利要求8所述的多晶硅尾氣壓縮機防泄漏結構，其特征在于：所述吹掃氣進氣口(18)連接0.05-0.1Mpa的氮氣進氣管道，第二排氣口(19)與連通至安全區的管線連接。