[實用新型]高隔離度CWDM薄膜濾光片

有效

• 申請號: 201120299252.0
• 申請日: 2011-08-17
• 公開（公告）號: CN202275171U
• 公開（公告）日: 2012-06-13
• 發明（設計）人: 趙戰剛;范衛星;王鵬飛
• 申請（專利權）人: 奧普鍍膜技術（廣州）有限公司
• 主分類號: G02B5/20
• 分類號: G02B5/20;G02B1/11;B32B17/06;B32B9/04
• 代理公司: 廣州市南鋒專利事務所有限公司 44228
• 代理人: 劉媖

1.一種高隔離度CWDM薄膜濾光片，包括基板（1），基板（1）的一面設有正面膜系（2），另一面設有反面膜系（3），其特征在于：所述的基板(1)采用厚度為1毫米玻璃為基板，其表面平面度為光?圈N＜3，局部光圈ΔN＜0.4，表面光潔度B＝III；所述的正面膜系(2)為基于12個法布里-珀羅串聯：Ns|HLHL?H8LHLHLHL?HLHL?H8LHLHLHL?………HLHL?H8LHLHLHL?HLHL?H8LHLHLHL0.2356H1.3526L|No，膜系中：Ns表示基板(1)，No表示空氣，L表示厚度為λ0/4五氧化二鉭膜層，H?表示厚度為λ0/4二氧化硅膜層，中心波長λ0＝1470-1610納米；所述的反面膜系(3)為增透膜，所述的增透膜的膜層結構如下：

層材料膜厚1Ta2O556.472SiO274.043Ta2O5201.864SiO2256.04

。