[實用新型]過濾器的凈化裝置和液體供應系統

有效

• 申請號: 201120294198.0
• 申請日: 2011-08-12
• 公開（公告）號: CN202207961U
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 方青春;余文軍
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02;B01D35/02;B01D35/16
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及一種過濾器的凈化裝置和液體供應系統。

背景技術

當前，在半導體生產車間內，需要用到很多液體供應系統。其中，研磨液供應系統是一個很重要的液體供應系統?，F有的研磨液供應系統主要由兩個部分組成：原液系統和供應系統。其中，原液系統主要用于攪拌研磨液原液和向供應系統供應研磨液原液。供應系統則起到對研磨液進行配置的作用，保證研磨液正常供應到機臺。

研磨液質量對產品的質量有著非常關鍵的作用，因此向研磨機臺供應研磨液前必須對所述研磨液進行凈化。目前，研磨液供應系統主要是通過一個或多個過濾器來對研磨液進行凈化，但是，較大的研磨液顆?；蚴瞧渌s質無法通過過濾器，容易在過濾器外罩底部沉積，時間久了后，會增加過濾器堵塞或喪失部分功能的風險，從而影響研磨液的正常供應和質量，以致增加晶圓在化學機械研磨工藝中產生瑕疵甚至是報廢的風險。

因此，如何提供一種可以沖洗過濾器的過濾器的凈化裝置和液體供應系統是本領域技術人員亟待解決的一個技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種過濾器的凈化裝置和液體供應系統，可以實現對過濾器的沖洗，防止較大的研磨液顆?；蚴瞧渌s質堵塞過濾器。

為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種過濾器的凈化裝置，所述過濾器設置于液體供應管路中，所述過濾器的凈化裝置包括電磁閥和排水管，所述排水管連接于所述過濾器的底部，所述電磁閥設置于所述排水管上。

優選地，在上述的過濾器的凈化裝置中，還包括一手動閥，所述手動閥設置于所述排水管上，所述電磁閥位于所述過濾器與所述手動閥之間。

優選地，在上述的過濾器的凈化裝置中，還包括一時間繼電器，所述時間繼電器與所述電磁閥連接。

本實用新型還公開了一種液體供應系統，用于向機臺供應液體，包括液體供應管路和過濾器，所述過濾器設置于液體供應管路中，所述液體供應系統還包括過濾器的凈化裝置，所述過濾器的凈化裝置包括電磁閥和排水管，所述排水管連接于所述過濾器的底部，所述電磁閥設置于所述排水管上。

優選地，在上述液體供應系統中，還包括一手動閥，所述手動閥設置于所述排水管上，所述電磁閥位于所述過濾器與所述手動閥之間。

優選地，在上述液體供應系統中，還包括一時間繼電器，所述時間繼電器與所述電磁閥連接。

本實用新型的有益效果如下：

本實用新型通過在過濾器底部增加一個過濾器的凈化裝置，所述過濾器的凈化裝置包括電磁閥和排水管，所述排水管連接于所述過濾器的底部，所述電磁閥設置于所述排水管上，通過打開電磁閥可以實現對過濾器底部沉積的研磨液大顆粒或其它雜質進行清理，保證過濾器的正常功能，從而確保供應液如研磨液的質量，減少了晶圓產生瑕疵甚至報廢的風險。

附圖說明

本實用新型的過濾器的凈化裝置和液體供應系統由以下實施例及附圖給出。

圖1為本實用新型的液體供應系統及其過濾器的凈化裝置的結構示意圖。

具體實施方式

以下將對本實用新型提供的過濾器的凈化裝置和液體供應系統作進一步的詳細描述。

下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。

為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須作出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規工作。

為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

請參閱圖1，這種液體供應系統，用于向機臺(未圖示)供應液體。本實施例中，該液體供應系統是用于向研磨機臺供應研磨液的研磨液供應系統。