[實用新型]過濾器的凈化裝置和液體供應系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120294198.0 | 申請日： | 2011-08-12 |
| 公開（公告）號： | CN202207961U | 公開（公告）日： | 2012-05-02 |
| 發(fā)明（設計）人： | 方青春;余文軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | B24B57/02 | 分類號： | B24B57/02;B01D35/02;B01D35/16 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 過濾器 凈化 裝置 液體 供應 系統(tǒng) | ||
1.一種過濾器的凈化裝置，所述過濾器設置于液體供應管路中，其特征在于，所述過濾器的凈化裝置包括電磁閥和排水管，所述排水管連接于所述過濾器的底部，所述電磁閥設置于所述排水管上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾器的凈化裝置，其特征在于，還包括一手動閥，所述手動閥設置于所述排水管上，所述電磁閥位于所述過濾器與所述手動閥之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾器的凈化裝置，其特征在于，還包括一時間繼電器，所述時間繼電器與所述電磁閥連接。
4.一種液體供應系統(tǒng)，用于向機臺供應液體，包括液體供應管路和過濾器，所述過濾器設置于液體供應管路中，其特征在于，所述液體供應系統(tǒng)還包括過濾器的凈化裝置，所述過濾器的凈化裝置包括電磁閥和排水管，所述排水管連接于所述過濾器的底部，所述電磁閥設置于所述排水管上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液體供應系統(tǒng)，其特征在于，還包括一手動閥，所述手動閥設置于所述排水管上，所述電磁閥位于所述過濾器和所述手動閥之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液體供應系統(tǒng)，其特征在于，還包括一時間繼電器，所述時間繼電器與所述電磁閥連接。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于中芯國際集成電路制造（上海）有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司，未經(jīng)中芯國際集成電路制造（上海）有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201120294198.0/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：一種多用扳手
- 下一篇：一種帶照明裝置的無柄式氣動墻面打磨機
