[實用新型]濺射設備

有效

• 申請號: 201120291175.4
• 申請日: 2011-08-11
• 公開（公告）號: CN202187058U
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發明（設計）人: 黃秋平
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國勝;王瑩

1.一種濺射設備，包括承載機、中間腔體、換軌腔體及托盤，所述承載機、中間腔體、換軌腔體成順序設置，中間腔體兩端分別與承載機與換軌腔體相連；所述托盤設置于所述承載機、中間腔體和換軌腔體上；所述承載機和換軌腔體的上部均設置有磁導軌，其特征在于，所述承載機、換軌腔體的磁導軌底部與托盤兩側的頂部卡合成固定裝置。

2.如權利要求1所述的濺射設備，其特征在于，所述承載機的磁導軌的底部一端設置有卡槽，所述換軌腔體的磁導軌的底部一端設置有卡槽。

3.如權利要求2所述的濺射設備，其特征在于，所述托盤兩側的頂部設置有卡扣，所述卡扣收容于卡槽內，形成卡合固定裝置。

4.如權利要求3所述的濺射設備，其特征在于，所述卡槽以固定連接或可拆卸連接的方式安裝在磁導軌上。

5.如權利要求3所述的濺射設備，其特征在于，所述卡扣以固定連接或可拆卸連接的方式安裝在托盤上。

6.如權利要求3所述的濺射設備，其特征在于，所述托盤完全位于承載機中時，所述承載機的卡槽與托盤右側的卡扣的位置相對應。

7.如權利要求3所述的濺射設備，其特征在于，所述托盤位于換軌腔體中時，所述換軌腔體的卡槽與托盤左側的卡扣的位置相對應。

8.如權利要求3所述的濺射設備，其特征在于，所述磁導軌包括橫桿，所述橫桿上安裝有若干組磁條。

9.如權利要求8所述的濺射設備，其特征在于，所述托盤頂部具有磁性部件，所述磁性部件的極性與磁條的極性相反。