[實用新型]一種LaB6空心陰極電子槍多功能離子鍍膜機有效
| 申請號： | 201120286047.0 | 申請日： | 2011-07-30 |
| 公開（公告）號： | CN202201959U | 公開（公告）日： | 2012-04-25 |
| 發明（設計）人： | 中山弘建 | 申請（專利權）人： | 中山弘建 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 東莞市中正知識產權事務所 44231 | 代理人： | 徐康 |
| 地址： | 日本國東京都*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 lab sub 空心 陰極 電子槍 多功能 離子 鍍膜 | ||
1.一種LaB6空心陰極電子槍多功能離子鍍膜機，其特征在于它由LaB6空心陰極電子槍(1)、八角形真空室(2)、上集束線圈(3)、下集束線圈(4)、輔助陽極(9)、長方形法蘭(5)、多弧陰極靶(7)、磁控濺射靶(8)、抽氣口(10)、高閥(11)、分子泵(12)、粗抽泵(13)和維持泵(14)構成，LaB6空心陰極電子槍(1)設置在八角形真空室(2)上部中心處，上集束線圈(3)設置在八角形真空室(2)上部邊緣，下集束線圈(4)設置在八角形真空室(2)下部邊緣；八角形真空室(2)通過抽氣口(10)與高閥(11)相連接，高閥(11)底部與分子泵(12)連接，分子泵(12)前級與維持泵(14)連接，爐體底部與粗抽泵(13)連接；八角形真空室(2)側表面其中六個面設置有長方形法蘭(5)，在長方形法蘭(5)上設置有孔，可根據需要配置裝有多弧陰極靶(7)或磁控濺射靶(8)的模板，八角形真空室(2)側表面的其余兩個面設置有觀察窗及抽氣孔；八角形真空室(2)內部設置有工件轉架(6)和加熱器，八角形真空室(2)內底部中心處設置有輔助陽極(9)。
2.如權利要求1所述的一種LaB6空心陰極電子槍多功能離子鍍膜機，其特征在于所述的多弧陰極靶(8)為圓形、長方形或柱形靶
3.如權利要求1所述的一種LaB6空心陰極電子槍多功能離子鍍膜機，其特征在于所述的磁控濺射靶(9)為長方形或柱形靶。
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