[實(shí)用新型]化學(xué)氣相反應(yīng)腔內(nèi)等離子氣體管路

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120284909.6
• 申請(qǐng)日: 2011-08-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202201973U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭鋒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海曙海太陽(yáng)能有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/50
• 分類號(hào): C23C16/50;C23C16/513
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 雷紹寧

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種管路連接結(jié)構(gòu)，特別涉及一種化學(xué)氣相反應(yīng)腔內(nèi)等離子氣體管路。

背景技術(shù)

非晶硅太陽(yáng)能電池是20多年來(lái)國(guó)際上新發(fā)展起來(lái)的一項(xiàng)太陽(yáng)能電池新技術(shù)。非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池的硅材料厚度只有1微米左右，是單晶硅太陽(yáng)能電池硅材料厚度的1/200-1/300，與單晶硅太陽(yáng)能電池相比，制備這種薄膜所用硅原料很少，薄膜生長(zhǎng)時(shí)間較短，設(shè)備制造簡(jiǎn)單，容易大批量連續(xù)生產(chǎn)，根據(jù)國(guó)際上有關(guān)專家的估計(jì)，非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池是目前能大幅度降低成本的最有前途的太陽(yáng)能電池。

現(xiàn)有技術(shù)中，用于光伏組件規(guī)模制造的等離子體化學(xué)氣相沉積真空設(shè)備，包括真空腔以及電極盒等主要部件。等離子體化學(xué)氣相沉積真空設(shè)備通過(guò)遠(yuǎn)程等離子系統(tǒng)進(jìn)行清洗，遠(yuǎn)程等離子系統(tǒng)通過(guò)管道把電離化的氣體輸送到電極盒內(nèi)，輸送過(guò)程中氣體放熱對(duì)管道造成損傷，降低了管道的使用壽命。若一個(gè)真空設(shè)備內(nèi)具有兩個(gè)電極盒，則遠(yuǎn)程等離子系統(tǒng)與電極盒間的管路連接如何降低高溫效應(yīng)成為當(dāng)前的難題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的問(wèn)題是提供一種化學(xué)氣相反應(yīng)腔內(nèi)等離子氣體管路，克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題。

本實(shí)用新型一種化學(xué)氣相反應(yīng)腔內(nèi)等離子氣體管路，化學(xué)反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)有兩個(gè)電極盒，所述管路連接結(jié)構(gòu)包括主管路和兩個(gè)分支管路，主管路的一端與所述遠(yuǎn)程等離子系統(tǒng)的輸出口相連，主管路的另一端通過(guò)轉(zhuǎn)接口與兩個(gè)分支管路相連通，兩個(gè)分支管路的端部分別與其中一個(gè)電極盒相連通，主管路與分支管路間的夾角大小為90°～110°，兩個(gè)分支管路間的夾角大小為120°～140°。

本實(shí)用新型所述分支管路為具有圓角折彎的彎折管。

本實(shí)用新型所述分支管路通過(guò)法蘭固定在所述電極盒頂板上并與電極盒內(nèi)部相通。

本實(shí)用新型所述主管路與分支管路間的夾角為106°。

本實(shí)用新型所述兩個(gè)分支管路間的夾角為129°。

本實(shí)用新型所述主管路通過(guò)法蘭固定在反應(yīng)腔的頂板上。

本實(shí)用新型所述主管路與所述遠(yuǎn)程等離子系統(tǒng)輸出口間形成夾角大小為150°～170°。

通過(guò)以上技術(shù)方案，本實(shí)用新型化學(xué)氣相反應(yīng)腔內(nèi)等離子氣體管路，采用轉(zhuǎn)接口將主管路與分支管路連接，并通過(guò)主管路與分支管路夾角及兩分支管路間夾角的設(shè)定，優(yōu)化管路連接結(jié)構(gòu)內(nèi)的流體流動(dòng)性，使遠(yuǎn)程等離子高溫效應(yīng)最小化，增強(qiáng)了管路的使用壽命。

附圖說(shuō)明

圖1本實(shí)用新型管路連接結(jié)構(gòu)的立體圖。

圖2本實(shí)用新型管路連接結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。

圖3本實(shí)用新型管路連接結(jié)構(gòu)的俯視圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，本實(shí)用新型一種化學(xué)氣相反應(yīng)腔內(nèi)等離子氣體管路，化學(xué)反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)有兩個(gè)電極盒，管路連接結(jié)構(gòu)包括主管路1和兩個(gè)分支管路2，主管路1的一端與遠(yuǎn)程等離子系統(tǒng)的輸出口6相連，主管路1的另一端通過(guò)轉(zhuǎn)接口3與兩個(gè)分支管路2相連通，一個(gè)分支管路的端部與其中一個(gè)電極盒相連通，主管路1與分支管路2間的夾角C大小為90°～110°(見(jiàn)圖2)，兩個(gè)分支管路間的夾角A大小為120°～140°(見(jiàn)圖3)。采用此管路連接結(jié)構(gòu)，通過(guò)主管路與分支管路間的夾角與兩個(gè)分支管路間的夾角大小設(shè)計(jì)，優(yōu)化整個(gè)管路內(nèi)的流體流動(dòng)性設(shè)計(jì)，降低遠(yuǎn)程等離子高溫效應(yīng)，增強(qiáng)管路的使用壽命。

為更好的實(shí)現(xiàn)管路的流體性，分支管路2為具有圓角折彎的彎折管，分支管路2通過(guò)法蘭5固定在電極盒頂板上并與電極盒內(nèi)部相通，該法蘭5還起到真空密封的作用。

為使氣體管路達(dá)到最優(yōu)的流體流動(dòng)性，主管路與分支管路間的夾角C為106°，兩個(gè)分支管路間的夾角A為129°。主管路1通過(guò)法蘭4固定在反應(yīng)腔的頂板上，主管路與遠(yuǎn)程等離子系統(tǒng)輸出口間形成夾角B大小為150°～170°。

本實(shí)用新型的氣體管路，用于高產(chǎn)能大容積增強(qiáng)型等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其主體部分嵌入反應(yīng)腔內(nèi)，反應(yīng)腔外通過(guò)真空接口與遠(yuǎn)程等離子系統(tǒng)相連通，主管路在反應(yīng)腔內(nèi)通過(guò)轉(zhuǎn)接口3連接兩個(gè)分支管路，轉(zhuǎn)接口為三通，分支管路的底端與電極盒頂板通過(guò)法蘭連接。管路材料與電極盒材料一直，使用鋁合金材料。氣體管路整體滿足真空密封要求，優(yōu)化管路流體流動(dòng)性，使遠(yuǎn)程等離子高溫效應(yīng)最小化，解決了大容積反應(yīng)腔安裝遠(yuǎn)程等離子系統(tǒng)的難題。