[實(shí)用新型]化學(xué)氣相反應(yīng)腔內(nèi)等離子氣體管路

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120284909.6
• 申請(qǐng)日: 2011-08-05
• 公開（公告）號(hào): CN202201973U
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭鋒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海曙海太陽(yáng)能有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/50
• 分類號(hào): C23C16/50;C23C16/513
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 雷紹寧

1.一種化學(xué)氣相反應(yīng)腔內(nèi)等離子氣體管路，化學(xué)氣相反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)有兩個(gè)電極盒，其特征在于，所述管路連接結(jié)構(gòu)包括主管路(1)和兩個(gè)分支管路(2)，主管路的一端與所述遠(yuǎn)程等離子系統(tǒng)輸出口(6)相連，主管路的另一端通過轉(zhuǎn)接口(3)與兩個(gè)分支管路(2)相連通，兩個(gè)分支管路的端部分別與其中一個(gè)電極盒相連通，主管路與分支管路間的夾角(C)大小為90°～110°，兩個(gè)分支管路間的夾角(A)大小為120°～140°。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子氣體管路，其特征在于，所述分支管路(2)為具有圓角折彎的彎折管。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子氣體管路，其特征在于，所述分支管路(2)通過法蘭(5)固定在所述電極盒頂板上并與電極盒內(nèi)部相通。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子氣體管路，其特征在于，所述主管路與分支管路間的夾角(C)為106°。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子氣體管路，其特征在于，所述兩個(gè)分支管路間的夾角(A)為129°。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子氣體管路，其特征在于，所述主管路(1)通過法蘭(4)固定在反應(yīng)腔的頂板上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的等離子氣體管路，其特征在于，所述主管路與所述遠(yuǎn)程等離子系統(tǒng)輸出口間形成夾角(B)大小為150°～170°。