[實用新型]一種用于超薄基底的鍍膜夾具

有效

• 申請號: 201120282987.2
• 申請日: 2011-08-05
• 公開（公告）號: CN202193840U
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發明（設計）人: 程春生;班超;張欽廉;曹嘉寰;符東浩;李傳文;劉毅楠;趙浩
• 申請（專利權）人: 平湖中天合波通信科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 周濤

1.一種用于超薄基底的鍍膜夾具，其特征在于，該鍍膜夾具包括有金屬底座（1）、磁鐵柱（2）和金屬片（3），所述的金屬底座（1）和金屬片（3）均為導磁材料制成，所述的金屬底座（3）上設有用于放置基片（4）的凹槽（11）和用于放置磁鐵柱（2）的小孔（12），所述的小孔（12）位于凹槽（11）的邊角位置，所述磁鐵柱（2）放置小孔（12）內以吸附在金屬底座（1）上，所述的金屬片（3）吸附于磁鐵柱（2）的頂端，所述的金屬片（3）外徑大于磁鐵柱（2）的外徑。

2.根據權利要求1所述的一種用于超薄基底的鍍膜夾具，其特征在于，所述金屬底座（1）上的凹槽（11）為方形，多個方形的凹槽（11）以方陣的形式規則排列，所述的小孔（12）位于凹槽（11）的頂角處。

3.根據權利要求2所述的一種用于超薄基底的鍍膜夾具，其特征在于，四個相鄰的方形凹槽（11）直角頂角相對處共用一個小孔（12）。

4.根據權利要求1所述的一種用于超薄基底的鍍膜夾具，其特征在于，所述的金屬片（3）為圓形，其直徑大于磁鐵柱（2）的直徑，同圓心吸附于磁鐵柱（2）頂端的金屬片（3）,?該金屬片（3）部分伸出以壓住凹槽（11）內的基片(4)。