[實用新型]單晶爐接晶盤自動旋轉裝置有效
| 申請號: | 201120278547.X | 申請日: | 2011-08-02 |
| 公開(公告)號: | CN202175753U | 公開(公告)日: | 2012-03-28 |
| 發明(設計)人: | 蔣劍;吳世海;趙建峰 | 申請(專利權)人: | 西安理工晶體科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B35/00 | 分類號: | C30B35/00 |
| 代理公司: | 西安弘理專利事務所 61214 | 代理人: | 羅笛 |
| 地址: | 710077 陜西*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 單晶爐接晶盤 自動 旋轉 裝置 | ||
1.一種單晶爐接晶盤自動旋轉裝置,其特征在于:
包括U型接晶盤(1),U型接晶盤(1)的底板上設置有緩沖套(13),緩沖套(13)對應副爐室內徑中心線位置設置,在副爐室(7)的兩側分別安裝有隨動軸安裝底板(6)和氣缸安裝底板(8);
U型接晶盤(1)一邊端面與隨動端軸套(2)的外端連接,隨動端軸套(2)通過法蘭軸承(3)套裝在隨動軸(5)上,隨動軸(5)安裝在隨動軸安裝底板(6)上;
U型接晶盤(1)另一邊端面與氣缸端軸套(11)連接,氣缸端軸套(11)通過鍵(12)與回轉氣缸(10)的輸出軸連接,回轉氣缸(10)與氣缸過渡板(9)連接,氣缸過渡板(9)與氣缸安裝底板(8)連接。
2.根據權利要求1所述的單晶爐接晶盤自動旋轉裝置,其特征在于:所述的隨動端軸套(2)與U型接晶盤(1)的連接面設置有壓墊(4)。
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