[實用新型]半導體塑封除膠機吹氣系統有效
| 申請號: | 201120271065.1 | 申請日: | 2011-07-29 |
| 公開(公告)號: | CN202183360U | 公開(公告)日: | 2012-04-04 |
| 發明(設計)人: | 付捷頻;劉曉鋒;李盛穩;楊理 | 申請(專利權)人: | 杰群電子科技(東莞)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/00 | 分類號: | H01L21/00;H01L21/56;B08B5/02 |
| 代理公司: | 東莞市華南專利商標事務所有限公司 44215 | 代理人: | 雷利平 |
| 地址: | 523750 廣東省東莞市黃江鎮裕元工*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體 塑封 吹氣 系統 | ||
技術領域
本實用新型涉及半導體封裝技術領域,特別是涉及半導體塑封除膠機吹氣系統。
背景技術
半導體封裝工藝中塑封(Molding)制程產品在模壓完成后,進行去除流道廢膠工藝時,如有樹脂屑未清干凈殘留在除膠機上,會造成封裝膠體崩缺異常,如膠體崩角、缺角、露底材,影響產品外觀同時還會造成產品可靠性失效,從而造成半導體產品不良率升高。
現有技術中采用多個單獨的小吹嘴組成吹氣系統,在模壓完成后吹走剩余的樹脂屑,如圖1所示,在流道2的兩側設置多個吹嘴1。
實用新型內容
本實用新型的目的在于避免現有技術中的不足之處而提供一種半導體塑封除膠機吹氣系統,其具有更好的除膠效果。
本實用新型的目的通過以下技術措施實現。
半導體塑封除膠機吹氣系統,包括設置于流道旁的吹氣管,所述吹氣管開設有朝向所述流道的吹氣孔。
所述吹氣管為一根,且位于所述流道的一側。
所述吹氣孔均勻布置于所述吹氣管。
所述吹氣孔對應每個流道設置一個或者兩個。
所述吹氣管的長度貫穿整個除膠機。
所述吹氣管連通于供氣裝置。
本實用新型的半導體塑封除膠機吹氣系統,將除膠機吹氣設計由原來單個小吹嘴組成的吹氣系統改成單根吹氣管,并把原來由兩邊對吹氣設計成單邊吹氣,減小由于氣體對流而帶回樹脂殘屑,可完全改善產品在作業過程中因除膠機造成的割欠,從而降低了生產不良率。
附圖說明
利用附圖對本實用新型做進一步說明,但附圖中的內容不構成對本實用新型的任何限制。
圖1是現有技術的結構示意圖。
圖2是本實用新型的一個實施例的結構示意圖。
附圖標記:
吹嘴1,流道2,吹氣管3,吹氣孔4,支架5。
具體實施方式
結合以下實施例對本實用新型作進一步說明。
實施例1
本實施例的半導體塑封除膠機吹氣系統如圖2所示,包括設置于流道2旁的吹氣管3,吹氣管3由支架5支撐。所述吹氣管3開設有朝向所述流道2的吹氣孔4。所述吹氣管3為一根,且位于所述流道2的一側。
本實用新型將除膠機吹氣設計由原來單個小吹嘴組成的吹氣系統改成單根吹氣管,并把原來由兩邊對吹氣設計成單邊吹氣,減小由于氣體對流而帶回樹脂殘屑。
所述吹氣孔4均勻布置于所述吹氣管3。
所述吹氣孔4對應每個流道2設置一個或者兩個。
實施例2
本實施例參照圖2,在實施例1的基礎上,所述吹氣管3的長度貫穿整個除膠機,所述吹氣管3連通于供氣裝置。因此采用一根吹氣管3,一個供氣裝置即可以對整個除膠機進行除膠,結構簡單,成本低,而且使用方便。
最后應當說明的是,以上實施例僅用于說明本實用新型的技術方案而非對本實用新型保護范圍的限制,盡管參照較佳實施例對本實用新型作了詳細說明,本領域的普通技術人員應當理解,可以對本實用新型的技術方案進行修改或者等同替換,而不脫離本實用新型技術方案的實質和范圍。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





