[實(shí)用新型]半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201120271065.1 | 申請(qǐng)日: | 2011-07-29 |
| 公開(公告)號(hào): | CN202183360U | 公開(公告)日: | 2012-04-04 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 付捷頻;劉曉鋒;李盛穩(wěn);楊理 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 杰群電子科技(東莞)有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/00 | 分類號(hào): | H01L21/00;H01L21/56;B08B5/02 |
| 代理公司: | 東莞市華南專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44215 | 代理人: | 雷利平 |
| 地址: | 523750 廣東省東莞市黃江鎮(zhèn)裕元工*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 半導(dǎo)體 塑封 吹氣 系統(tǒng) | ||
1.半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),其特征在于:包括設(shè)置于流道旁的吹氣管,所述吹氣管開設(shè)有朝向所述流道的吹氣孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),其特征在于:所述吹氣管為一根,且位于所述流道的一側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),其特征在于:所述吹氣孔均勻布置于所述吹氣管。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),其特征在于:所述吹氣孔對(duì)應(yīng)每個(gè)流道設(shè)置一個(gè)或者兩個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),其特征在于:所述吹氣管的長(zhǎng)度貫穿整個(gè)除膠機(jī)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),其特征在于:所述吹氣管連通于供氣裝置。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





