[實用新型]防倒流裝置及排氣裝置

有效

• 申請號: 201120265403.0
• 申請日: 2011-07-25
• 公開（公告）號: CN202144891U
• 公開（公告）日: 2012-02-15
• 發明（設計）人: 許亮
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: F16K15/04
• 分類號: F16K15/04;H01L21/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及一種防倒流裝置及排氣裝置。

背景技術

目前，在半導體生產中很多工藝需要在真空環境下進行，因此，所需的反應腔需要排氣裝置進行抽氣以形成真空。

現有的排氣裝置通常包括泵和連接管，所述泵通過所述連接管和反應腔連接，所述泵不斷抽取來自反應腔的氣體，使得反應腔形成真空。

在使用過程中發現，正常工作情況下，所述泵不停地從所述反應腔中抽氣并排放，一旦當泵出現故障，泵四周的空氣會進入泵內，由于反應腔處于真空狀態，因此，反應腔中的氣體壓力遠低于泵中的氣體壓力，由此，泵中的氣體會倒流到反應腔內。但是泵中氣體夾帶著很多顆粒物質，當帶有大量顆粒物質的氣體涌入反應腔后，會嚴重影響反應腔內氣體的潔凈度，這些被帶入的顆粒物質會吸附到待反應的晶圓上，會影響產品質量，嚴重時就會導致大量產品報廢。

由此可見，如何提供一種防止泵內的氣體倒流到反應腔的防倒流裝置及排氣裝置是本領域技術人員亟待解決的一個技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種防倒流裝置及排氣裝置，可以防止泵中的帶顆粒物質的氣體倒流到反應腔內，保證反應腔內的氣體潔凈度，確保工藝的穩定性。

為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種防倒流裝置，設于泵和反應腔之間的連接管內，所述防倒流裝置包括一閥座體和若干單向閥，所述若干單向閥設置于所述閥座體上。

在上述的防倒流裝置中，每個單向閥包括閥球和閥孔，所述閥孔設置于所述閥座體，所述閥孔是孔徑由大至小漸變的通孔，所述閥孔的大開口端設有一鏤空擋板，所述閥孔的大開口端和小開口端分別與所述泵和所述反應腔相對，所述閥球位于所述閥孔內，所述閥球的直徑小于所述閥孔的小開口端的內徑。

在上述的防倒流裝置中，所述連接管橫向設置，所述閥孔橫向設置。

在上述的防倒流裝置中，所述連接管豎向設置，所述閥孔豎向設置。

在上述的防倒流裝置中，所述鏤空擋板是一圓形板，所述圓形板上開有一中心孔和若干通氣孔，所述若干通氣孔環繞設置于所述中心孔的四周，所述中心孔的直徑小于閥球的直徑。

在上述的防倒流裝置中，所述連接管包括第一連接分管和第二連接分管，所述第一連接分管和第二連接分管的相對端分別設有第一法蘭和第二法蘭，所述第一連接管和第二連接管的另一端分別與泵或反應腔連接。

在上述的防倒流裝置中，所述防倒流裝置還包括若干螺栓組件，所述閥座體的周向設有向外凸出的凸部，所述凸部上均勻設置有若干螺釘孔，所述凸部設于所述第一法蘭和第二法蘭之間，所述閥座體的一部分位于所述第一連接分管內，所述閥座體的另一部分位于所述第二連接分管內，所述第一法蘭、所述凸部和第二法蘭經所述若干螺栓組件連接。

在上述的防倒流裝置中，所述若干單向閥均勻設置于所述閥座體上。

本實用新型還公開了一種排氣裝置，用于對反應腔進行排氣，包括泵和連接管，所述泵通過連接管和反應腔連接，還包括如上所述的防倒流裝置，所述防倒流裝置設于所述連接管內。

本實用新型的有益效果如下：

本實用新型在連接管上設置防倒流裝置，所述防倒流裝置包括一閥座體和若干單向閥，所述若干單向閥設置于所述閥座體上。一方面，所述若干單向閥可以保證反應腔內的氣體流入到泵中；另一方面，所述若干單向閥可以防止泵中的帶顆粒物質的氣體倒流到反應腔內，保證反應腔內的氣體潔凈度，確保工藝的穩定性，最終提高產品良率。

附圖說明

本實用新型的防倒流裝置及排氣裝置由以下的實施例及附圖給出。

圖1為本實用新型的排氣裝置及其防倒流裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型的設有若干單向閥的閥座體的結構示意圖；

圖3為本實用新型的單個單向閥在氣流正常流動時的結構示意圖；

圖4為本實用新型的單個單向閥在氣流異常流動時的結構示意圖；

圖5為本實用新型的鏤空擋板的結構示意圖。

具體實施方式

以下將對本實用新型的防倒流裝置及排氣裝置的作進一步的詳細描述。

下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。