[實(shí)用新型]防倒流裝置及排氣裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120265403.0
• 申請(qǐng)日: 2011-07-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202144891U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許亮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F16K15/04
• 分類(lèi)號(hào): F16K15/04;H01L21/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種防倒流裝置，設(shè)于泵和反應(yīng)腔之間的連接管內(nèi)，其特征在于，所述防倒流裝置包括一閥座體和若干單向閥，所述若干單向閥設(shè)置于所述閥座體上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防倒流裝置，其特征在于，每個(gè)單向閥包括閥球和閥孔，所述閥孔設(shè)置于所述閥座體，所述閥孔是孔徑由大至小漸變的通孔，所述閥孔的大開(kāi)口端設(shè)有一鏤空擋板，所述閥孔的大開(kāi)口端和小開(kāi)口端分別與所述泵和所述反應(yīng)腔相對(duì)，所述閥球位于所述閥孔內(nèi)，所述閥球的直徑小于所述閥孔的小開(kāi)口端的內(nèi)徑。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防倒流裝置，其特征在于，所述連接管橫向設(shè)置，所述閥孔橫向設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防倒流裝置，其特征在于，所述連接管豎向設(shè)置，所述閥孔豎向設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防倒流裝置，其特征在于，所述鏤空擋板是一圓形板，所述圓形板上開(kāi)有一中心孔和若干通氣孔，所述若干通氣孔環(huán)繞設(shè)置于所述中心孔的四周，所述中心孔的直徑小于所述閥球的直徑。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防倒流裝置，其特征在于，所述連接管包括第一連接分管和第二連接分管，所述第一連接分管和第二連接分管的相對(duì)端分別設(shè)有第一法蘭和第二法蘭，所述第一連接管和第二連接管的另一端分別與泵或反應(yīng)腔連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的防倒流裝置，其特征在于，所述防倒流裝置還包括若干螺栓組件，所述閥座體的周向設(shè)有向外凸出的凸部，所述凸部上均勻設(shè)置有若干螺釘孔，所述凸部設(shè)于所述第一法蘭和第二法蘭之間，所述閥座體的一部分位于所述第一連接分管內(nèi)，所述閥座體的另一部分位于所述第二連接分管內(nèi)，所述第一法蘭、所述凸部和第二法蘭經(jīng)所述若干螺栓組件連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防倒流裝置，其特征在于，所述若干單向閥均勻設(shè)置于所述閥座體上。

9.一種排氣裝置，用于對(duì)反應(yīng)腔進(jìn)行排氣，包括泵和連接管，所述泵通過(guò)連接管和所述反應(yīng)腔連接，其特征在于，還包括如權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)所述的防倒流裝置，所述防倒流裝置設(shè)于所述連接管內(nèi)。