[實用新型]全自動太陽能硅片擴散前清洗設備

有效

• 申請號: 201120265190.1
• 申請日: 2011-07-26
• 公開（公告）號: CN202180065U
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發明（設計）人: 馬躍;史大建;周曉東;金佳源;沈專
• 申請（專利權）人: 韓華新能源（啟東）有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08
• 代理公司: 南通市永通專利事務所 32100
• 代理人: 葛雷

技術領域

本實用新型涉及一種全自動太陽能硅片擴散前清洗設備。?

背景技術

擴散是晶體硅太陽電池工藝生產中核心的工藝流程，而擴散工藝中形成p-n結的質量直接關系到太陽能電池的轉換效率。在太陽能電池工藝生產中，為了去除表面油污及金屬雜質，提高擴散前硅片的潔凈度，從而提高p-n結的質量，在擴散工藝前設置酸洗工藝流程。?

對普通的太陽能電池片工藝生產，現有擴散前清洗設備基本可以滿足工藝對潔凈度等的要求；但隨著太陽能電池生產工藝，如應用Innovalight公司的Cougar平臺，即利用硅墨水套印生產選擇型發射極太陽能電池的生產工藝，對工藝流程中的潔凈度要求越來越高，普通的清洗設備不能滿工藝對擴散前清洗潔凈度、特別是避免金屬離子污染的要求。?

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種結構合理，能夠滿足單晶選擇性發射極太陽能電池工藝中潔凈度要求，盡量避免金屬離子污染及減少潛在污染源，減少二次污染，從而提高太陽能電池的光電轉換效率，以及提高生產效率的全自動太陽能硅片擴散前清洗設備。?

本實用新型的技術解決方案是：?

一種全自動太陽能硅片擴散前清洗設備，包括上料臺、微機控制系統、觸摸屏，其特征是：上料臺后依次設置溢流預清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、熱慢提拉槽、循環熱風烘干裝置，在循環熱風烘干裝置后設置下料臺，酸洗槽與在線加熱裝置連接，溢流預清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、熱慢提拉槽、循環熱風烘干裝置均固定于機架上，在機架一側的滑軌上裝單臂移載式機械手。

單臂移載式機械手呈與硅片花籃兩端擋板上缺口掛合的形式。?

微機控制系統、觸摸屏采用懸掛式安裝在上料臺旁。?

本實用新型結構合理，在清洗設備的酸洗（HF）工序前增加DI?Water溢流預清洗，以提高酸洗工序前硅片的表面潔凈度，提高酸洗的清洗效果。?

采用無需花籃托的機械手，機械手整體及掛鉤采用非金屬材質。現有光伏行業清洗設備的機械手均采用需花籃托的機械手，花籃托采用金屬材質外包pp材質，在長時間的冷熱變換及腐蝕下會造成pp包覆層開裂，從而在工藝流程中造成金屬離子污染；采用無需花籃托的機械手則減少了這種潛在的污染源。設備中機械手也采用進口非金屬材質，避免了與酸液接觸帶來腐蝕的問題；同時，減去傳統清洗機所需的花籃托，大大較少慢提拉工序中去除硅片上附著水珠的時間及提高烘干硅片所需的節拍。?

在酸洗及DI?Water溢流清洗之后，采用熱DI?Water慢提拉及循環熱風烘干取代傳統清洗設備中的甩干工序，降低了干燥電池片工序帶來的污染及避免了二次污染。?

采用在線加熱方式，采用整體構造（外包覆不銹鋼材質）和供水管路均為非金屬材質的熱水發生器（TYTAN）。避免了現有清洗設備DI?Water熱慢提拉工序帶來金屬離子污染的問題；將工序熱水溫度提高到65^oC，減少慢提拉工序的節拍，提高生產效率；大功率在線熱水器，能夠保證24h供應符合工藝要求的熱水，從而減少傳統投入式加熱方式的等待時間，提高生產效率和產量。?

采用循環熱風烘干系統，與傳統的甩干方式相比，避免了二次污染、提高了工藝流程中的潔凈度；烘干系統中，在大功率加熱器的進風口及出風口均安裝功效過濾器，提高熱風烘干工序中循環熱風的潔凈度，從而提高工藝潔凈度和電池片的轉換效率。?

在酸洗槽后段設置DI?Water噴水頭及吹風頭，清除機械手掛鉤上的酸液，從而減少機械手及掛鉤上的酸液。?

整體設備采用密封結構，減少酸霧對操作人員的影響。在每個槽體的一邊采用左、右推拉式的推拉門，及避免了傳統設備采用外拉式窗口對空間帶來的浪費及可能造成的意外情況，以及避免了上、下結構用氣推拉的窗口壓縮氣體可能帶來的潛在危險。?

觸摸屏采用懸掛式安裝在自動上料臺旁，節省操作空間、并便于操作人員操作。?

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。?

圖1是本實用新型一個實施例的結構示意圖。?

具體實施方式