[實(shí)用新型]全自動(dòng)太陽(yáng)能硅片擴(kuò)散前清洗設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201120265190.1 | 申請(qǐng)日： | 2011-07-26 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN202180065U | 公開(kāi)（公告）日： | 2012-04-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 馬躍;史大建;周曉東;金佳源;沈?qū)?/a> | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 韓華新能源（啟東）有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B08B3/08 | 分類號(hào)： | B08B3/08 |
| 代理公司： | 南通市永通專利事務(wù)所 32100 | 代理人： | 葛雷 |
| 地址： | 226200 江蘇省南*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 全自動(dòng) 太陽(yáng)能 硅片 擴(kuò)散 清洗 設(shè)備 | ||
1.一種全自動(dòng)太陽(yáng)能硅片擴(kuò)散前清洗設(shè)備，包括上料臺(tái)、微機(jī)控制系統(tǒng)、觸摸屏，其特征是：上料臺(tái)后依次設(shè)置溢流預(yù)清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、熱慢提拉槽、循環(huán)熱風(fēng)烘干裝置，在循環(huán)熱風(fēng)烘干裝置后設(shè)置下料臺(tái)，酸洗槽與在線加熱裝置連接，溢流預(yù)清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、熱慢提拉槽、循環(huán)熱風(fēng)烘干裝置均固定于機(jī)架上，在機(jī)架一側(cè)的滑軌上裝單臂移載式機(jī)械手。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)太陽(yáng)能硅片擴(kuò)散前清洗設(shè)備，其特征是：?jiǎn)伪垡戚d式機(jī)械手呈與硅片花籃兩端擋板上缺口掛合的形式。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的全自動(dòng)太陽(yáng)能硅片擴(kuò)散前清洗設(shè)備，其特征是：微機(jī)控制系統(tǒng)、觸摸屏采用懸掛式安裝在上料臺(tái)旁。
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