[實(shí)用新型]配置有可充氣支撐件模塊的前開式晶圓盒

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120259819.1
• 申請日: 2011-07-21
• 公開（公告）號: CN202159652U
• 公開（公告）日: 2012-03-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱銘隆;洪國鈞;古震維;盛劍平;侯宜良
• 申請（專利權(quán)）人: 家登精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 周國城

1.一種前開式晶圓盒，包括一盒體，由一對側(cè)壁及相鄰該對側(cè)壁的一頂面及一底面所組成，并于一側(cè)邊形成一開口，而相對該開口的另一側(cè)邊形成一后壁，同時(shí)于該對側(cè)壁上各配置一支撐件模塊以容置多個(gè)晶圓，并于該對側(cè)壁與該后壁相鄰處各配置一可充氣支撐件模塊，以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，該門體以該內(nèi)表面與該盒體的該開口相結(jié)合，用以保護(hù)該盒體內(nèi)部的該多個(gè)晶圓，其的特征在于：該前開式晶圓盒：

該盒體的該對側(cè)壁與該后壁相鄰之處，各配置一可充氣支撐件模塊，該可充氣支撐件模塊的面對該開口方向上配置有一長縫，且于該長縫中配置有一多孔性材質(zhì)材料，且該可充氣支撐件模塊的一端配置一進(jìn)氣口與該底面的一氣閥連接，其中該可充氣支撐件模塊由多個(gè)垂直間隔排列的支撐肋所組成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的前開式晶圓盒，其特征在于，該多孔性材質(zhì)材料為一陶瓷材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的前開式晶圓盒，其特征在于，該長縫由多個(gè)隔板垂直間隔成多個(gè)出氣口，所噴出氣體由下列群組中擇一或組合而成：惰性氣體、干燥冷空氣及氮?dú)狻?/p>

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的前開式晶圓盒，其特征在于，該長縫的形狀為由下到上逐漸變大。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的前開式晶圓盒，其特征在于，進(jìn)一步于該長縫縱向延伸形成多個(gè)橫縫，且該些橫縫間具有一間距。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的前開式晶圓盒，其特征在于，該多個(gè)垂直間隔排列的支撐肋之間進(jìn)一步配置有出氣孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的前開式晶圓盒，其特征在于，該可充氣支撐件模塊是一體成型的結(jié)構(gòu)。

8.一種前開式晶圓盒，包括一盒體，由一對側(cè)壁及相鄰該對側(cè)壁的一頂面及一底面所組成，并于一側(cè)邊形成一開口，而相對該開口的另一側(cè)邊形成一后壁，同時(shí)于該對側(cè)壁上配置一對支撐件模塊，以容置多個(gè)晶圓；以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，該門體以該內(nèi)表面與該盒體的該開口相結(jié)合，并用以保護(hù)該盒體內(nèi)部的該多個(gè)晶圓，其特征在于，該前開式晶圓盒：

該盒體的該對側(cè)壁與該后壁相鄰之處，各配置至少一可充氣支撐件模塊，該可充氣支撐件模塊的一端配置一進(jìn)氣口并與該底面的一氣閥連接，而該可充氣支撐件模塊由一第一部分及一第二部分組成且該第一部分及該第二部分相鄰處形成一長縫，且于該長縫中配置有一多孔性材質(zhì)材料，其中該可充氣支撐件模塊的該第一部分及該第二部分各配置有多個(gè)垂直間隔排列的支撐肋。

9.一種前開式晶圓盒，包括一盒體，由一對側(cè)壁及相鄰該對側(cè)壁的一頂面及一底面所組成，并于一側(cè)邊形成一開口，而相對該開口的另一側(cè)邊形成一后壁，同時(shí)于該對側(cè)壁上配置一對支撐件模塊，以容置多個(gè)晶圓；以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，該門體以該內(nèi)表面與該盒體的該開口相結(jié)合，并用以保護(hù)該盒體內(nèi)部的該多個(gè)晶圓，其特征在于，該前開式晶圓盒：

該盒體的該對側(cè)壁與該后壁相鄰之處，各配置至少一可充氣支撐件模塊，該可充氣支撐件模塊的一端配置一進(jìn)氣口并與該底面的一氣閥連接，而該可充氣支撐件模塊由一第一部分及一第二部分組成且該第一部分及該第二部分相鄰處形成一長縫，且于該長縫中配置有一多孔性材質(zhì)材料，其中該可充氣支撐件模塊的該第一部分配置有多個(gè)垂直間隔排列的支撐肋，而該第二部分配置有多個(gè)垂直間隔排列的限制件。

10.一種前開式晶圓盒，包括一盒體，由一對側(cè)壁及相鄰該對側(cè)壁的一頂面及一底面所組成，并于一側(cè)邊形成一開口，而相對該開口的另一側(cè)邊形成一后壁，同時(shí)于該對側(cè)壁上配置一對支撐件模塊，以容置多個(gè)晶圓；以及一門體，具有一外表面及一內(nèi)表面，該門體以該內(nèi)表面與該盒體的該開口相結(jié)合，并用以保護(hù)該盒體內(nèi)部的該多個(gè)晶圓，其特征在于，該前開式晶圓盒：

該盒體的該對側(cè)壁與該后壁相鄰之處，各配置至少一可充氣支撐件模塊，該可充氣支撐件模塊包括一主體，該主體的一端配置一進(jìn)氣口并與該底面的一氣閥連接，同時(shí)該可充氣支撐件模塊具有一排多個(gè)垂直間隔排列的支撐肋及一排多個(gè)垂直間隔排列的限制件，使該多個(gè)支撐肋及該多個(gè)限制件與該對側(cè)壁上的該些支撐件模塊共同支撐該多個(gè)晶圓，其中在該多個(gè)支撐肋及該多個(gè)限制件之間有至少一長縫，且于該長縫中配置有一多孔性材質(zhì)材料。