[實用新型]藍寶石單晶長晶爐

有效

• 申請號: 201120257053.3
• 申請日: 2011-07-20
• 公開（公告）號: CN202226961U
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發明（設計）人: 莊育豐
• 申請（專利權）人: 莊育豐
• 主分類號: C30B15/26
• 分類號: C30B15/26;C30B15/20;C30B29/20
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 秦士魁

1.一種藍寶石單晶長晶爐，其主要包括有一真空爐體，該真空爐體內設有坩堝，坩堝外緣設有加熱組件，加熱組件外緣設有隔熱裝置，所述坩堝設有旋動件，旋動件鏈接外部旋動裝置，坩堝上端設有拉起件，拉起件鏈接外部拉起裝置及使拉起件旋轉的旋動裝置，拉起件下端置有籽晶，該真空爐體具有進氣孔及排氣孔，并分別連通外部氣體供應裝置及排氣裝置，真空爐體外部并具有中央控制裝置，分別鏈接對爐內抽真空的排氣裝置，鏈接氣體提供爐內氣氛氣體的供應裝置，鏈接拉起裝置及旋動裝置控制拉起件的拉升及旋轉，鏈接加熱組件電源使加熱組件對坩堝加熱，及鏈接旋動裝置以控制坩堝的旋轉，其特征在于：該真空爐體與隔熱裝置間設有冷卻槽，冷卻槽上端具有冷卻液入口連通冷卻液供給裝置，冷卻槽下端具有冷卻液出口連通排液裝置。

2.如權利要求1所述的藍寶石單晶長晶爐，其特征在于，該冷卻槽間隔設有擋板。

3.如權利要求2所述的藍寶石單晶長晶爐，其特征在于，該擋板為交錯設置。

4.如權利要求1或2所述的藍寶石單晶長晶爐，其特征在于，該真空爐體內另設有溫度感應裝置。

5.如權利要求4所述的藍寶石單晶長晶爐，其特征在于，該溫度感應裝置為紅外線溫度計。

6.如權利要求4所述的藍寶石單晶長晶爐，其特征在于，該溫度感應裝置鏈接中央控制裝置。

7.如權利要求1或2所述的藍寶石單晶長晶爐，其特征在于，該真空爐體上設有窺視窗。

8.如權利要求7所述的藍寶石單晶長晶爐，其特征在于，該窺視窗連結設有遠程顯示設備，該遠程顯示設備鏈接中央控制裝置。