[實用新型]一種曝光裝置和光刻機

有效

• 申請號: 201120250401.4
• 申請日: 2011-07-15
• 公開（公告）號: CN202120037U
• 公開（公告）日: 2012-01-18
• 發明（設計）人: 齊永蓮;薛建設;劉志勇
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;鄧伯英

技術領域

本實用新型涉及光刻的技術領域，具體地，涉及一種曝光裝置和光刻機。

背景技術

在集成電路和液晶顯示器的制造過程中，光刻工藝是制備其中電子元器件的必要基本工藝，例如，用于制備液晶顯示器中陣列基板和彩膜基板。光刻工藝的基本過程包括：首先在基板的表面上涂覆一層光刻膠，然后對光刻膠進行曝光，以將掩模板上的圖案轉印到光刻膠上，形成潛影；再用溶劑對曝光后的光刻膠進行顯影，使潛影顯現出來；接下來用蝕刻液噴淋或者浸潤基板，剩余的光刻膠作為抗蝕膜保護其覆蓋部分的基板，基板上未被光刻膠覆蓋的部分被蝕刻；最后用剝離液除去基板表面的光刻膠，得到產品。

在曝光過程中，基板上的光刻膠經過曝光后得到的圖案要求厚度均勻。但是在曝光進行過程中，由于曝光燈的位置固定，所以在曝光過程中，曝光燈發出的光在掩模板的邊緣處和中間部分的照度分布不均，導致經過曝光后光刻膠組成圖案的厚度不均勻，影響后續工藝，造成產品的良率低。

實用新型內容

為解決上述問題，本實用新型提供一種曝光裝置和光刻機，用于解決現有技術中曝光后基板上光刻膠組成圖案的厚度不均勻的問題。

為此，本實用新型提供一種曝光裝置，包括曝光燈和燈框，其中，還包括帶動所述曝光燈轉動的接口底座；

所述曝光燈安裝在所述接口底座上，所述接口底座安裝在所述燈框內。

其中，曝光裝置還包括控制所述接口底座開關狀態的開關單元；

所述開關單元與所述接口底座連接。

其中，所述開關單元為光電傳感器，所述光電傳感器接收到所述曝光燈發出的光時啟動所述接口底座轉動。

其中，所述光電傳感器安裝在所述燈框的快門外側。

其中，還包括將經過快門輸出的光分成若干束光線的復眼，所述復眼設置在所述燈框外部。

其中，所述光電傳感器安裝在所述復眼上。

其中，所述開關單元與所述燈框的快門連接；

所述開關單元在所述快門打開時啟動所述接口底座的轉動，在所述快門關閉時停止所述接口底座的轉動。

本實用新型還提供了一種光刻機，包括掩模板和曝光裝置，其中，所述曝光裝置采用上述的任意一種的曝光裝置。

本實用新型具有下述有益效果：

本實用新型提供的曝光裝置，通過接口底座帶動曝光燈勻速轉動，使單位時間內曝光燈發出的光在掩模板上的照度分布均勻，從而使光刻膠的曝光均勻，以確保基板上經過曝光后得到的光刻膠圖案的厚度均勻，提高產品的良率。

附圖說明

圖1為本實用新型曝光裝置第一實施例的結構示意圖；

圖2為本實用新型曝光裝置第二實施例的結構示意圖；

圖3為本實用新型曝光裝置進行曝光工藝時的光路圖。

具體實施方式

為使本領域的技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖對本實用新型提供的曝光裝置和光刻機進行詳細描述。

圖1為本實用新型曝光裝置第一實施例的結構示意圖。如圖1所示，本實施例曝光裝置包括曝光燈101和燈框102，其中，在燈框102上還設置有接口底座103，曝光燈101安裝在接口底座103上，接口底座103固定安裝在燈框102內，接口底座103轉動時將帶動曝光燈101轉動，在封閉的燈框102上還設置有快門104，快門104打開時，曝光燈101發出的光將從燈框102中輸出，以提供用于曝光工藝的光，在通常情況下，用于曝光工藝的光為單色光。

進一步的，為節省接口底座103的功耗，可以通過開關單元來控制接口底座103的轉動狀態，接口底座103的轉動狀態包括停止、轉動及其轉速等。開關單元與接口底座連接，開關單元安裝在能接收到經過快門104輸出的單色光的位置即可；當開關單元開啟時，接口底座開始進行勻速轉動，開關單元關閉時，接口底座103停止轉動，在實際應用中，接口底座103的轉速可以在20～50轉/秒之間，以使單位時間內曝光燈發出的單色光在掩模板上的照度分布更均勻。

在本實施例中，開關單元可以采用光電傳感器，光電傳感器安裝在快門104的外側，當快門104打開時，曝光燈101輸出的光照射到光電傳感器上，光電傳感器將開啟接口底座103，使接口底座103帶動安裝在其上的曝光燈101勻速轉動。開關單元也可以由快門104來控制，當快門104開啟時，開關單元啟動接口底座103停止轉動，當快門104關閉時，開關單元控制接口底座103停止轉動。