[實用新型]一種曝光裝置和光刻機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120250401.4
• 申請日: 2011-07-15
• 公開（公告）號: CN202120037U
• 公開（公告）日: 2012-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 齊永蓮;薛建設(shè);劉志勇
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;鄧伯英

1.一種曝光裝置，包括曝光燈和燈框，其特征在于，還包括帶動所述曝光燈轉(zhuǎn)動的接口底座；

所述曝光燈安裝在所述接口底座上，所述接口底座安裝在所述燈框內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，還包括控制所述接口底座開關(guān)狀態(tài)的開關(guān)單元；

所述開關(guān)單元與所述接口底座連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的曝光裝置，其特征在于，所述開關(guān)單元為光電傳感器，所述光電傳感器接收到所述曝光燈發(fā)出的光時啟動所述接口底座轉(zhuǎn)動。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的曝光裝置，其特征在于，所述光電傳感器安裝在所述燈框的快門外側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的曝光裝置，其特征在于，還包括將經(jīng)過快門輸出的光分成若干束光線的復(fù)眼，所述復(fù)眼設(shè)置在所述燈框外部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的曝光裝置，其特征在于，所述光電傳感器安裝在所述復(fù)眼上。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的曝光裝置，其特征在于，所述開關(guān)單元與所述燈框的快門連接；

所述開關(guān)單元在所述快門打開時啟動所述接口底座的轉(zhuǎn)動，在所述快門關(guān)閉時停止所述接口底座的轉(zhuǎn)動。

8.一種光刻機(jī)，其特征在于，包括權(quán)利要求1-7任一所述的曝光裝置。