[實用新型]硅晶體的提純設備無效
| 申請號: | 201120239982.1 | 申請日: | 2011-07-08 |
| 公開(公告)號: | CN202116323U | 公開(公告)日: | 2012-01-18 |
| 發明(設計)人: | 陳評;羅建平;陳樹欽 | 申請(專利權)人: | 陳評;羅建平;陳樹欽 |
| 主分類號: | C01B33/037 | 分類號: | C01B33/037 |
| 代理公司: | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人: | 曹翠珍 |
| 地址: | 211100 江蘇省南*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 晶體 提純 設備 | ||
【權利要求書】:
1.硅晶體的提純設備,包括:爐桶,爐桶的內壁設置保溫材料,保溫材料內側設有加熱器,爐桶頂部設置爐蓋,其特征在于爐桶的底部設置旋轉托盤,旋轉托盤的上部安放坩堝,坩堝內底部設有攪拌槳葉,攪拌槳葉隨坩堝轉動;坩堝內設置冷阱。
2.根據權利要求1所述硅晶體的提純設備,其特征在于所述冷阱是通過在坩堝內中上部插入冷卻管形成。
3.根據權利要求2所述硅晶體的提純設備,其特征在于所述冷卻管設置在冷卻套筒內。
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