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[實用新型]一種氣體回收裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201120235713.8 申請日: 2011-07-06
公開(公告)號: CN202254632U 公開(公告)日: 2012-05-30
發(fā)明(設(shè)計)人: 張秀梅;俞建 申請(專利權(quán))人: 上海啟元氣體發(fā)展有限公司
主分類號: F25J1/00 分類號: F25J1/00
代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213 代理人: 王敏杰
地址: 200000 上海市嘉定*** 國省代碼: 上海;31
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 氣體 回收 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種氣體回收裝置,其特征在于,包括液化器;所述液化器內(nèi)部通過隔板分成上方腔室和下方腔室;

所述下方腔室底部設(shè)有液氬出口,下方腔室側(cè)壁設(shè)有氬氣進口;

所述上方腔室側(cè)壁設(shè)有液氮進口,上方腔室頂部設(shè)有氮氣出口;

所述上方腔室分為內(nèi)腔室和外腔室,內(nèi)腔室與所述下方腔室連通,外腔室與所述液氮進口、氮氣出口連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體回收裝置,其特征在于,所述液化器頂部還設(shè)有氬氣放空口,所述氬氣放空口與所述內(nèi)腔室連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體回收裝置,其特征在于,在所述下方腔室側(cè)壁靠近頂部位置還設(shè)有液氬液位計上閥,在所述下方腔室在液氬出口周圍還設(shè)有液氬液位計下閥;液氬液位計下閥與液氬液位計上閥在所述液化器外相連,連接結(jié)構(gòu)上設(shè)有液位指示裝置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體回收裝置,其特征在于,所述液氬液位計上閥位置高于所述氬氣進口。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體回收裝置,其特征在于,在所述上方腔室側(cè)壁靠近頂部位置還設(shè)有液氮液位計上閥,在所述上方腔室側(cè)壁靠近底部位置還設(shè)有液氮液位計下閥;液氮液位計下閥與液氮液位計上閥在所述液化器外相連,連接結(jié)構(gòu)上設(shè)有液位指示裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體回收裝置,其特征在于,所述下方腔室側(cè)壁上部設(shè)有氬氣壓力測量裝置,所述氬氣壓力測量裝置通過DCS系統(tǒng)連接液氮進口處的閥門。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體回收裝置,其特征在于,所述外腔室側(cè)壁上部設(shè)有氮氣壓力測量裝置,所述氮氣壓力測量裝置通過DCS系統(tǒng)連接氮氣排放口出的閥門。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體回收裝置,其特征在于,所述外腔室側(cè)壁靠近底部設(shè)有液氮排放口。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體回收裝置,其特征在于,所述液氮出口處設(shè)有純度檢測裝置。?

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣體回收裝置,其特征在于,所述液氮出口處在純度檢測裝置后設(shè)有支管。?

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