[實(shí)用新型]一種硅片承載盒阻尼墊

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120228211.2
• 申請(qǐng)日: 2011-06-30
• 公開（公告）號(hào): CN202165512U
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張景林;劉菲菲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江西旭陽雷迪高科技股份有限公司
• 主分類號(hào): F16F15/08
• 分類號(hào): F16F15/08
• 代理公司: 南昌新天下專利商標(biāo)代理有限公司 36115
• 代理人: 施秀瑾

1.一種硅片承載盒阻尼墊，包括硅片承載盒（1），其特征在于，所述的硅片承載盒（1）底部設(shè)有阻尼墊（4），所述的阻尼墊（4）包括帶有邊框的橡膠墊板（2），橡膠墊板（2）內(nèi)設(shè)有凸臺(tái)（3），凸臺(tái)（3）外側(cè)與硅片承載盒（1）內(nèi)腔相連接，所述的凸臺(tái)（3）頂面不低于硅片承載盒（1）撞擊面。

2.根椐權(quán)利要求1所述的一種硅片承載盒阻尼墊，其特征在于，所述的橡膠墊板（2）內(nèi)可以設(shè)有多個(gè)凸臺(tái)（3），所述的凸臺(tái)（3）可以布置為方形或矩形，相鄰?fù)古_(tái)之間設(shè)有間距，每個(gè)凸臺(tái)（3）連接一個(gè)硅片承載盒（1）。