[實用新型]一種硅片承載盒阻尼墊

有效

• 申請號: 201120228211.2
• 申請日: 2011-06-30
• 公開（公告）號: CN202165512U
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發明（設計）人: 張景林;劉菲菲
• 申請（專利權）人: 江西旭陽雷迪高科技股份有限公司
• 主分類號: F16F15/08
• 分類號: F16F15/08
• 代理公司: 南昌新天下專利商標代理有限公司 36115
• 代理人: 施秀瑾

技術領域

本實用新型涉及一種硅片承載盒阻尼墊，特別是在需要進行人工插片時的一種硅片承載盒阻尼墊。

背景技術

硅片經切割、脫膠、初洗后，要插入硅片承載盒，進入下一清洗工序。而插入硅片承載盒階段，由于插入式靠水流的力量進入硅片承載盒，硅片承載盒內部，每片之間有隔槽，隔槽之間有突出像鋸齒般的突出點，當硅片借流水沖力進入承載盒時，一旦有誤差易于落在槽齒上造成崩邊破損；為了克服這一問題的影響，操作者往往在底部放上一整塊泡沫墊，但效果不是很好。

一般情況下硅片采用插片機插片，當硅片出現臟污或者插片機維修時，需要進行人工插片，目前人工插片的做法有兩種，一種是自由掉下，另一種是承載器底部塞海面。

硅片自由掉下，以一定速度撞擊承載器，會造成硅片亮邊，蹦邊甚至破片等缺陷，缺陷率大概占人工插片總數的10%左右，造成經濟損失。

承載器底部塞海面，不方便作業，效率較低，且海綿進水后如不烘干難存儲。

實用新型內容

本實用新型其目的就在于提供一種硅片承載盒阻尼墊，避免了損傷硅片，具有結構簡單、成本低的特點，且操作方便、快捷，提高了效率。

實現上述目的而采取的技術方案，包括硅片承載盒，所述的硅片承載盒底部設有阻尼墊，所述的阻尼墊包括帶有邊框的橡膠墊板，橡膠墊板內設有凸臺，凸臺外側與硅片承載盒內腔相連接，所述的凸臺頂面不低于硅片承載盒撞擊面。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果在于，由于采用了帶有邊框的橡膠墊板的結構設計，從而避免了損傷硅片，具有結構簡單、成本低的特點，且操作方便、快捷，提高了效率。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型作進一步詳述。

圖1為本裝置立體結構示意圖。

圖2為本裝置結構示意主視圖。

圖3為本裝置結構示意俯視圖。

具體實施方式

包括硅片承載盒1，如圖1所示，所述的硅片承載盒1底部設有阻尼墊4，所述的阻尼墊4包括帶有邊框的橡膠墊板2，橡膠墊板2內設有凸臺3，凸臺3外側與硅片承載盒1內腔相連接，所述的凸臺3頂面不低于硅片承載盒1撞擊面。

所述的橡膠墊板2內可以設有多個凸臺3，所述的凸臺3可以布置為方形或矩形，相鄰凸臺之間設有間距，每個凸臺3連接一個硅片承載盒1。

硅片承載盒放于一個橡膠制作的，帶有一定數量凸臺的阻尼墊。橡膠的硬度低于制作硅片承載盒的工程塑料硬度，能偶起到緩沖的作用。

凸臺面高于硅片承載盒原有的撞擊面，硅片與橡膠面撞擊，避免損傷硅片，承載器可以順利提起，放下，方便快捷，提高效率。