[實(shí)用新型]一種盒厚補(bǔ)償裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201120183979.2 | 申請(qǐng)日: | 2011-06-01 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN202102208U | 公開(kāi)(公告)日: | 2012-01-04 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 馬博;李韡;張明亮;范宇光 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 北京京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | G02F1/13363 | 分類號(hào): | G02F1/13363 |
| 代理公司: | 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11270 | 代理人: | 程立民;張穎玲 |
| 地址: | 100176 北京市*** | 國(guó)省代碼: | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 補(bǔ)償 裝置 | ||
1.一種盒厚補(bǔ)償裝置,其特征在于,該裝置包括:
補(bǔ)償板,由可透過(guò)紫外光的材料制成,位于機(jī)臺(tái)上紫外光照射孔上部的凹槽內(nèi),上表面平坦;
補(bǔ)償墊,由彈性材料制成,位于補(bǔ)償板下面,形狀為中空的環(huán)形,表面與補(bǔ)償板下表面和紫外光照射孔上部凹槽內(nèi)的機(jī)臺(tái)表面相契合;
所述紫外光照射孔分為上部和下部,上部的直徑大于下部的直徑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述裝置還包括:
多個(gè)向控制器發(fā)送自身產(chǎn)生的壓力感應(yīng)信號(hào)的壓力傳感器,位于補(bǔ)償墊下,多個(gè)壓力傳感器等間隔均勻分布在紫外光照射孔上部的凹槽底部機(jī)臺(tái)表面;
多個(gè)接收控制器傳送的控制信號(hào)的執(zhí)行器,位于補(bǔ)償墊下,多個(gè)執(zhí)行器與多個(gè)壓力傳感器交錯(cuò)分布,等間隔均勻分布在紫外光照射孔上部的凹槽底部機(jī)臺(tái)表面;
用于對(duì)所述執(zhí)行器的高度進(jìn)行控制的控制器,與所述壓力傳感器和執(zhí)行器信號(hào)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置,其特征在于,所述補(bǔ)償板的下表面為平面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,
所述補(bǔ)償板的下表面為球面;所述補(bǔ)償墊與所述補(bǔ)償板接觸的表面形狀與所述補(bǔ)償板的下表面相契合;所述補(bǔ)償墊與機(jī)臺(tái)接觸的表面與紫外光照射孔上部的凹槽形狀相契合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一所述的裝置,其特征在于,所述補(bǔ)償板為石英材料制成的石英板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一所述的裝置,其特征在于,所述補(bǔ)償墊為聚酰亞胺膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置,其特征在于,所述執(zhí)行器為伺服電機(jī)或刻度氣缸。
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G02F1-00 控制來(lái)自獨(dú)立光源的光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置,例如,轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制;非線性光學(xué)
G02F1-01 .對(duì)強(qiáng)度、相位、偏振或顏色的控制
G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制,即偏轉(zhuǎn)
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