[實(shí)用新型]裝卡光掩模的被動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120171837.4
• 申請(qǐng)日: 2011-05-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202049928U
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吉保國(guó);梅琳
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 常州瑞擇微電子科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/00
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/00;H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 常州市維益專(zhuān)利事務(wù)所 32211
• 代理人: 賈海芬

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種裝卡光掩模的被動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

“光掩模”是集成電路芯片制造中用于批量印刷電路的模版。通過(guò)光刻工藝，將光掩模上的電路圖案大批量印刷到硅晶圓上。因此光掩模上的任何缺陷都會(huì)對(duì)芯片的成品率造成很大的影響。

目前先進(jìn)的光掩模清洗工藝是將光掩模放置在沖洗槽內(nèi)，沖洗槽采用內(nèi)槽體和外槽體相結(jié)合的結(jié)構(gòu)，將可移動(dòng)托架的托盤(pán)設(shè)置在內(nèi)槽體內(nèi)而形成淺槽結(jié)構(gòu)，托架的托座穿過(guò)內(nèi)槽體與支座連接，清洗時(shí)，只需將光掩模平放在托盤(pán)內(nèi)，在托盤(pán)壓接在內(nèi)槽體上呈密封狀況時(shí)，使光掩模橫置浸沒(méi)在藥液中，以去除光掩模表面的光刻膠，當(dāng)托架上移動(dòng)時(shí)，使托架的托盤(pán)與內(nèi)槽體脫離，將藥液從內(nèi)槽體排置外槽體內(nèi)通過(guò)排液流道排出，通過(guò)設(shè)置在外槽體和托架上的噴嘴實(shí)現(xiàn)噴淋沖清，達(dá)到對(duì)光掩模進(jìn)行清洗的效果。目前公開(kāi)一些自動(dòng)抓取光掩模的裝置，體積較大，無(wú)法在清洗槽內(nèi)進(jìn)行水平抓取和放置、翻轉(zhuǎn)，而不能應(yīng)用上述的清洗工藝，如采用人工放置和拾取光掩模，不僅影響清洗效率，而且也影響清洗效果。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)合理，安裝調(diào)試方便，放置、抓取光掩模可靠的裝卡光掩模的被動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)。

本實(shí)用新型為達(dá)上述目的的技術(shù)方案是：一種裝卡光掩模的被動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)，包括支承座、被動(dòng)轉(zhuǎn)軸以及具有卡口的被動(dòng)卡爪，其特征在于：所述的被動(dòng)轉(zhuǎn)軸通過(guò)被動(dòng)軸套安裝在支承座上，被動(dòng)卡爪通過(guò)軸向開(kāi)口的漲套與被動(dòng)轉(zhuǎn)軸連接，支承座或/和被動(dòng)轉(zhuǎn)軸上安裝有檢測(cè)水平位置的位置檢測(cè)開(kāi)關(guān)。

本實(shí)用新型被動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)采用安裝在支承座上的被動(dòng)轉(zhuǎn)套以及被動(dòng)轉(zhuǎn)軸和被動(dòng)卡爪，而被動(dòng)卡爪通過(guò)漲套與被動(dòng)轉(zhuǎn)軸連接，結(jié)構(gòu)緊湊合理，安裝調(diào)試非常方便，故能方便更換不同型號(hào)的被動(dòng)卡爪。本實(shí)用新型在支承座和被動(dòng)轉(zhuǎn)軸上安裝有檢測(cè)水平位置的位置檢測(cè)開(kāi)關(guān)，通過(guò)位置檢測(cè)開(kāi)關(guān)是否輸出信號(hào)，卡裝光掩模時(shí)，只能在水平位置才能進(jìn)行抓取和放置，故能大幅度提高放置和抓取光掩模的準(zhǔn)確性，工作可靠，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)裝卡光掩模而提高光掩模清洗效率和清洗效果。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

圖1是本實(shí)用新型被動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型被動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實(shí)用新型被動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)安裝在工作臺(tái)上的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：1-端盤(pán)，2-被動(dòng)轉(zhuǎn)軸，3-彈簧，4-支承座，5-被動(dòng)軸套，6-油槽，7-平面軸承，8-漲套，9-外套，10-連接軸，10-1-凸軸，11-卡爪，11-1-卡口，12-緊釘螺釘，13-滾珠，14-卡簧，15-位置檢測(cè)開(kāi)關(guān)，16-光掩模，17-工作臺(tái)，18-主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)。

具體實(shí)施方式

見(jiàn)圖1～3所示，本實(shí)用新型的裝卡光掩模的被動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)，包括支承座4、被動(dòng)轉(zhuǎn)軸2以及具有卡口的被動(dòng)卡爪，被動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)與主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)18分別安裝在工作臺(tái)17上并對(duì)角設(shè)置，支承座4安裝在托板上并隨滑塊沿直線導(dǎo)軌上移動(dòng)，抓緊拾取光掩模16和松開(kāi)光掩模16并放置在托盤(pán)上。見(jiàn)圖1、2所示，本實(shí)用新型的被動(dòng)轉(zhuǎn)軸2通過(guò)被動(dòng)軸套5安裝在支承座4上，被動(dòng)轉(zhuǎn)軸2與被動(dòng)軸套5能相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，該被動(dòng)軸套5呈T形，被動(dòng)軸套的T形端通過(guò)緊固件與支承座4連接，另一端通過(guò)安裝在被動(dòng)轉(zhuǎn)軸2上的卡簧14限位，平面軸承7設(shè)置在被動(dòng)轉(zhuǎn)軸2的軸承座內(nèi)并頂在被動(dòng)軸套5的T形端面，而被動(dòng)轉(zhuǎn)軸2或被動(dòng)軸套5上設(shè)有油槽6，使被動(dòng)轉(zhuǎn)軸2轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)靈活。見(jiàn)圖1所示，本實(shí)用新型在被動(dòng)轉(zhuǎn)軸2上至少設(shè)有兩個(gè)定位孔，被動(dòng)軸套5上設(shè)有滾珠孔，安裝在支承座4上的緊釘螺釘12通過(guò)彈簧3將設(shè)置在被動(dòng)軸套5上的滾珠13頂在被動(dòng)轉(zhuǎn)軸2的定位槽內(nèi)，通過(guò)滾珠13使被動(dòng)轉(zhuǎn)軸2旋轉(zhuǎn)到位后不會(huì)相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，而提高操作的可靠性。

見(jiàn)圖1、2所示，本實(shí)用新型被動(dòng)卡爪通過(guò)軸向開(kāi)口的漲套8與被動(dòng)轉(zhuǎn)軸2連接，被動(dòng)卡爪的漲套8與被動(dòng)轉(zhuǎn)軸2連接，具有安裝調(diào)節(jié)方便，本實(shí)用新型的被動(dòng)卡爪由連接軸10和卡爪11構(gòu)成，卡爪11上設(shè)有卡口11-1，卡爪上的卡口11-1采用V形槽或U形槽，方便卡接在光掩模16上，卡爪11通過(guò)緊固件與連接軸10連接，連接軸10內(nèi)側(cè)的凸軸10-1與漲套8連接，被動(dòng)轉(zhuǎn)軸2上設(shè)有螺孔，定位螺釘安裝在被動(dòng)轉(zhuǎn)軸2并頂在漲套8上，使?jié)q套8與連接軸10可靠連接，而帶動(dòng)被動(dòng)卡爪轉(zhuǎn)動(dòng)，外側(cè)具有插槽的外套9套裝在連接軸10和卡爪11上。