[實(shí)用新型]裝卡光掩模的被動卡爪機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120171837.4
• 申請日: 2011-05-26
• 公開（公告）號: CN202049928U
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吉保國;梅琳
• 申請（專利權(quán)）人: 常州瑞擇微電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 常州市維益專利事務(wù)所 32211
• 代理人: 賈海芬

1.一種裝卡光掩模的被動卡爪機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括支承座(4)、被動轉(zhuǎn)軸(2)以及具有卡口的被動卡爪，所述的被動轉(zhuǎn)軸(2)通過被動軸套(5)安裝在支承座(4)上，被動卡爪通過軸向開口的漲套(8)與被動轉(zhuǎn)軸(2)連接，支承座(4)或/和被動轉(zhuǎn)軸(2)上安裝有檢測水平位置的位置檢測開關(guān)(15)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卡光掩模的被動卡爪機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述的被動軸套(5)呈T形，被動軸套(5)的T形端通過緊固件與支承座(4)連接，另一端通過安裝在被動轉(zhuǎn)軸(2)上的卡簧(14)限位，平面軸承(7)設(shè)置在被動轉(zhuǎn)軸(2)的軸承座內(nèi)并頂在被動軸套(5)的T形端面，且被動轉(zhuǎn)軸(2)或/和被動軸套(5)上設(shè)有油槽(6)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卡光掩模的被動卡爪機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述的被動卡爪由連接軸(10)和卡爪(11)構(gòu)成，卡爪(11)上設(shè)有卡口(11-1)，卡爪(11)通過緊固件與連接軸(10)連接，連接軸(10)內(nèi)側(cè)的凸軸(10-1)與漲套(8)連接，外側(cè)具有插槽的外套(9)套裝在連接軸(10)和卡爪(11)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卡光掩模的被動卡爪機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述的被動轉(zhuǎn)軸(2)上至少設(shè)有兩個(gè)定位孔，被動軸套(5)上設(shè)有滾珠孔，安裝在支承座(4)上的緊釘螺釘(12)通過彈簧(3)將設(shè)置在被動軸套(5)上的滾珠(13)頂在被動轉(zhuǎn)軸(2)的定位槽內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卡光掩模的被動卡爪機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述被動轉(zhuǎn)軸(2)上設(shè)有螺孔，定位螺釘安裝在被動轉(zhuǎn)軸(2)上并頂在漲套(8)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卡光掩模的被動卡爪機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述的被動轉(zhuǎn)軸(2)上安裝有端盤(1)，端盤(1)上安裝有位置檢測開關(guān)(15)的觸發(fā)件。