[實用新型]一種全自動硅片翻轉疊雙片插片機

無效

• 申請號: 201120156176.8
• 申請日: 2011-05-16
• 公開（公告）號: CN202076306U
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 梁明剛
• 申請（專利權）人: 東莞市啟天自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種全自動硅片翻轉疊雙片插片機，其特征在于：其包括機架、100片導引裝置及石英舟載具、50片花籃及導引裝置、100片驅動機芯、50片驅動機芯、翻片裝置、伸縮皮帶線、硅片校正裝置、輸送線、卸籃托架，其中，輸送線分四段獨立輸送硅片校正裝置設在第二段及第四段輸送線兩側，伸縮皮帶線安裝在第四段輸送線內，并可伸入石英舟載具內。

2.根據權利要求1所述的一種全自動硅片翻轉疊雙片插片機，其特征在于：所述100片驅動機芯包括：調角機構、升降機構、載具定位機構。

3.根據權利要求2所述的一種全自動硅片翻轉疊雙片插片機，其特征在于：所述50片驅動機芯包括：升降機構、花籃定位機構。

4.根據權利要求3所述的一種全自動硅片翻轉疊雙片插片機，其特征在于：所述硅片校正裝置包括：驅動氣缸、校正導向板。

5.根據權利要求4所述的一種全自動硅片翻轉疊雙片插片機，其特征在于：所述伸縮皮帶線包括：氣缸組件、皮帶線組件、皮帶線驅動組件。

6.根據權利要求5所述的一種全自動硅片翻轉疊雙片插片機，其特征在于：所述翻片裝置包括：翻轉機構、吸盤抓取機構、真空氣路。

7.根據權利要求6所述的一種全自動硅片翻轉疊雙片插片機，其特征在于：所述卸籃托架包括：托盤、旋轉臂、鎖緊機構。

8.根據權利要求1-7任意一項所述的一種全自動硅片翻轉疊雙片插片機，其特征在于：所述100片導引裝置及石英舟載具(2)上至少設有一組用于檢測載具內硅片對射傳感器；所述100片驅動機芯(4)上至少設有一組用于檢測石英舟載具的傳感器；所述50片驅動機芯(5)上至少設有一組用于檢測花籃的傳感器。

9.根據權利要求8所述的一種全自動硅片翻轉疊雙片插片機，其特征在于：所述翻片裝置(6)上設有可360°旋轉的旋轉機構。

10.根據權利要求9所述的一種全自動硅片翻轉疊雙片插片機，其特征在于：所述旋轉機構上安裝有數個吸盤。