[實用新型]功率芯片探針研磨裝置

無效

• 申請號: 201120131606.0
• 申請日: 2011-04-28
• 公開（公告）號: CN202088061U
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發明（設計）人: 張宛平;孫德海
• 申請（專利權）人: 上海依然半導體測試有限公司
• 主分類號: B24B19/16
• 分類號: B24B19/16
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 胡美強

1.一種功率芯片探針研磨裝置，其特征在于，功率芯片探針研磨裝置包括固定機構、研磨機構、第一控制機構、第二控制機構、水砂紙，固定機構用于固定功率芯片探針，固定機構包括基板和環氧樹脂模塊，環氧樹脂模塊位于基板靠近研磨機構的一側；研磨機構包括移動載臺、電機和驅動塊，電機設置于移動載臺上，驅動塊由電機驅動，水砂紙固定在驅動塊上；第一控制機構與研磨機構連接且用于控制研磨機構沿第一方向運動；第二控制機構與研磨機構相連接且用于控制研磨機構沿第二方向運動。

2.如權利要求1所述的功率芯片探針研磨裝置，其特征在于，所述功率芯片探針研磨裝置還包括滑行機構和動力機構，固定機構在滑行機構上滑行，動力機構與研磨機構相連且用于驅動研磨機構研磨功率芯片探針的針尖。

3.如權利要求2所述的功率芯片探針研磨裝置，其特征在于，所述功率芯片探針研磨裝置還包括基臺，固定機構、研磨機構、第一控制機構、第二控制機構、滑行機構和動力機構均設置在基臺上。