[實用新型]用于防止晶片掉片的真空控制系統

有效

• 申請號: 201120115171.0
• 申請日: 2011-04-18
• 公開（公告）號: CN202025725U
• 公開（公告）日: 2011-11-02
• 發明（設計）人: 鄭昌榮
• 申請（專利權）人: 海太半導體（無錫）有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/683
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所 32104
• 代理人: 曹祖良

技術領域

本實用新型涉及一種晶片安裝設備，具體是一種用在晶片安裝工序中，防止晶片掉片的真空控制系統。

背景技術

晶片固定工序主要是吸取晶片并將晶片粘貼到基板上的過程。在晶片的吸取過程中因為真空閥的所產生的一系列問題可能會使晶片飛走，從而產生晶片掉片的現象。這樣不僅對產品的良率有一定的影響，而且在不斷出現錯誤并處理錯誤的過程中，對產量有很大影響，同時也導致操作人員的工作強度過大、效率不高，影響工作積極性。鑒于此，需要要對真空閥控制器改善工作。

發明內容

本實用新型的目的在于克服現有技術中存在的不足，提供一種用于防止晶片掉片的真空控制系統，該真空控制系統主要穩定了吸取晶片時的真空值，減少了設備運行過程中晶片掉片的現象，同時也降低了操作人員的工作強度，提高了生產效率。

按照本實用新型提供的技術方案：用于防止晶片掉片的真空控制系統，其特征在于：包括粘合工作臺、放氣閥、真空發生閥、固體繼電器、直流電源和真空信號發生器?，粘合工作臺通過導管分別連接放氣閥的充氣口和真空發生閥的吸氣口，放氣閥和真空發生閥分別與固體繼電器電氣連接，通過固體繼電器控制；固定繼電器分別通過導線連接電源和真空信號發生器。

作為本實用新型的進一步改進，所述放氣閥和真空發生閥安裝在一個閥本體過濾器上，在閥本體過濾器上連接有一個進氣管；所述導管直接連接在閥本體過濾器上，放氣閥的充氣口、真空發生閥的吸氣口經由閥本體過濾器后通過導管與粘合工作臺相連。

作為本實用新型的進一步改進，所述固定繼電器的電源采用24V直流電源。

本實用新型與現有技術相比，優點在于：（1）該真空控制系統可以穩定吸取晶片時的真空值，減少了設備運行過程中晶片掉片的現象；（2）該真空控制系統可以大大降低操作人員的工作強度，提高了生產效率；（3）該真空控制系統的使用壽命大大增長，減少了備件購買費用，節約了生產成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的部件連接示意圖。

具體實施方式

下面結合具體附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

如圖1所示，所述真空控制系統用在晶片固定工序中，用于防止晶片掉片。其主要由粘合工作臺1、導管2、進氣管3、閥本體過濾器4、放氣閥5、真空發生閥6、固體繼電器7、直流電源8和真空信號發生器?9等部件組成。

如圖1所示，粘合工作臺1是用于將晶片固定在基板上的操作平臺，其內部為空心結構；粘合工作臺1通過導管2分別連接放氣閥5的充氣口和真空發生閥6的吸氣口，放氣閥5和真空發生閥6分別與固體繼電器7電氣連接，通過固體繼電器7控制；固定繼電器7分別通過導線連接電源8和真空信號發生器9。所述固定繼電器7的電源優選采用24V直流電源。

如圖1所示，考慮到外界空氣中有粉塵雜質，如果直接被放氣閥5和真空發生閥6送到粘合工作臺1內，會對產品的粘結固定產生不利影響，所以本實用新型還設置了一個用于過濾空氣中污染物的閥本體過濾器4，所述放氣閥5和真空發生閥6安裝在閥本體過濾器4上，閥本體過濾器4上連接有一個進氣管3；所述導管2直接連接在閥本體過濾器4上，放氣閥5的充氣口、真空發生閥6的吸氣口經由閥本體過濾器4后通過導管2與粘合工作臺1相連；這樣就可以保證進入到粘合工作臺1內部的空氣清潔，提高產品粘合質量。

本實用新型的工作原理和工作過程如下：

具體應用時，空氣經由進氣管3進入至閥本體過濾器4中，通過閥本體過濾器4過濾清潔。電源8給固定繼電器7提供24V的直流電源，控制固定繼電器7的工作與停止；當固定繼電器7工作時，真空信號發生器9發出“抽真空”信號并通過導線輸送到真空發生閥6中，真空發生閥6啟動，其吸氣口通過導管2對粘合工作臺1進行抽真空操作，最終粘合工作臺1上出現真空，并將晶片吸在上面；當固定繼電器7停止工作時，真空信號發生器9發出“釋放真空”信號并輸送到放氣閥5上，放氣閥5啟動，其充氣口通過導管2對粘合工作臺1進行充氣操作并釋放晶片。

本實用新型可以嚴格控制真空值的大小，有效防止了因真空值沒有或不夠而引起的晶片掉片現象。