[實用新型]用于多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅處理的聚集器無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120073384.1 | 申請日： | 2011-03-18 |
| 公開（公告）號： | CN202054616U | 公開（公告）日： | 2011-11-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 嚴大洲;毋克力;肖榮暉;湯傳斌;謝正和;杜俊平;謝冬暉;汪紹芬;郭富東 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國恩菲工程技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/12 | 分類號： | C01B33/12;C01B7/01 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100038*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 多晶 副產(chǎn)物 氯化 處理 聚集 | ||
1.一種用于多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅處理的聚集器，其特征在于，包括：多個聚集管，所述多個聚集管依次相連以限定出以曲線形式延伸的聚集腔，其中所述多個聚集管中的第一個聚集管的自由端用作聚集器入口且最后一個聚集管的自由端用作聚集器出口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅處理的聚集器，其特征在于，所述曲線形式由多個Z字形構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅處理的聚集器，其特征在于，相鄰的兩個聚集管在所述聚集腔延伸的方向上彼此錯開。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的用于多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅處理的聚集器，其特征在于，每個聚集管包括直線段和位于直線段兩端的兩個彎頭段，在所述兩個彎頭段的自由端分別設(shè)有連接法蘭，且相鄰的聚集管通過所述連接法蘭相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅處理的聚集器，其特征在于，所述第一個聚集管和最后一個聚集管上分別設(shè)有測量口，所述測量口內(nèi)分別設(shè)有用于檢測所述聚集腔內(nèi)的溫度和壓力的檢測儀。
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