[實(shí)用新型]用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120070314.0
• 申請日: 2011-03-17
• 公開（公告）號: CN202054892U
• 公開（公告）日: 2011-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田華;桂鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體鍍膜領(lǐng)域，尤其涉及一種用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體的鍍膜工藝中，通常采用噴淋頭對著晶圓噴吹高溫金屬氣體，該噴淋頭類似于圓盤體，在該噴淋頭還設(shè)有用于加熱金屬氣體的加熱器。為了保證在半導(dǎo)體襯底上形成膜的厚度均勻，需要調(diào)整噴淋頭的平整度或稱水平度，使得噴淋頭和半導(dǎo)體襯底相平行。

現(xiàn)有通過三組螺釘組件對噴淋頭的平整度進(jìn)行調(diào)整，但其具有如下缺點(diǎn)，一方面螺釘組件的調(diào)整精度比較低，另一方面螺釘組件沒有自鎖功能，當(dāng)噴淋頭調(diào)整到正確位置時(shí)，在使用過程中，容易發(fā)生螺釘組件移位致使噴淋頭的位置發(fā)生改變，從而影響鍍膜的厚度，最終影響產(chǎn)品的良率。

因此，如何提供一種調(diào)整精度較高且具有自鎖功能的用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置及其施工方法是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置，通過蝸輪蝸桿副調(diào)整機(jī)構(gòu)不但可以提高調(diào)整精度，而且還具有鎖功能，防止噴淋頭在調(diào)整好位置后移位。

為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置，所述噴淋頭的一側(cè)對著晶圓，另一側(cè)設(shè)有用于對噴淋頭進(jìn)行調(diào)平的三組調(diào)整機(jī)構(gòu)，每個(gè)調(diào)整機(jī)構(gòu)采用蝸輪蝸桿副調(diào)整機(jī)構(gòu)。

所述蝸輪蝸桿副調(diào)整機(jī)構(gòu)包括蝸輪和蝸桿，所述蝸輪和所述蝸桿相嚙合，所述蝸桿的一端與所述噴淋頭固定連接，蝸輪轉(zhuǎn)動時(shí)帶動蝸桿邊轉(zhuǎn)動邊上下移動。

所述蝸桿的一端通過隔熱層與所述噴淋頭固定連接。

所述蝸輪通過固定連接軸和手輪固定連接。

所述蝸桿包括相連接的螺桿部和光桿部，所述蝸桿在螺桿部和蝸輪相嚙合，所述光桿部的外側(cè)端與所述噴淋頭固定連接。

所述蝸桿的外側(cè)設(shè)有蝸桿護(hù)套，所述蝸輪的外側(cè)設(shè)有蝸輪護(hù)套，所述蝸桿護(hù)套和所述蝸輪護(hù)套固定連接。

所述蝸桿護(hù)套的外側(cè)端與頂蓋固定連接。

所述光桿部的外側(cè)端通過隔熱層與所述噴淋頭固定連接。

本實(shí)用新型的有益效果如下：

本實(shí)用新型用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置，由于采用蝸輪蝸桿副調(diào)整機(jī)構(gòu)作為其調(diào)整機(jī)構(gòu)，相比現(xiàn)有的采用的螺釘調(diào)整機(jī)構(gòu)的噴淋頭調(diào)平裝置，不但可以提高調(diào)整精度，而且由于其具有自鎖功能，蝸桿不能反向移動，因此可以使得調(diào)整好位置的噴淋頭保持正確位置不發(fā)生改變，確保了鍍膜工藝的穩(wěn)定性。

附圖說明

本實(shí)用新型的用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中的一組蝸輪蝸桿副調(diào)整機(jī)構(gòu)安裝到噴淋頭的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)施例中蝸輪、蝸桿和手輪的安裝關(guān)系示意圖。

圖中，1-噴淋頭、2-晶圓、3-蝸輪蝸桿副調(diào)整機(jī)構(gòu)、31-蝸輪、32-蝸桿、321-螺桿部、322-光桿部、33-蝸輪護(hù)套、34-蝸桿護(hù)套、35-手輪、4-隔熱層、5-頂蓋、6-晶圓固定機(jī)構(gòu)、7-法蘭。

具體實(shí)施方式

以下將對本實(shí)用新型的用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

下面將參照附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實(shí)用新型的限制。

為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠贡緦?shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。

為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

請參閱圖1-圖3，其中，圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中的一組蝸輪蝸桿副調(diào)整機(jī)構(gòu)安裝到噴淋頭的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)施例中蝸輪、蝸桿和手輪的安裝關(guān)系示意圖。