[實(shí)用新型]用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120070314.0
• 申請(qǐng)日: 2011-03-17
• 公開（公告）號(hào): CN202054892U
• 公開（公告）日: 2011-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田華;桂鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置，所述噴淋頭的一側(cè)對(duì)著晶圓，另一側(cè)設(shè)有用于對(duì)噴淋頭進(jìn)行調(diào)平的三組調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，每個(gè)調(diào)整機(jī)構(gòu)采用蝸輪蝸桿副調(diào)整機(jī)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置，其特征在于：所述蝸輪蝸桿副調(diào)整機(jī)構(gòu)包括蝸輪和蝸桿，所述蝸輪和所述蝸桿相嚙合，所述蝸桿的一端與所述噴淋頭固定連接，所述蝸輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)蝸桿邊轉(zhuǎn)動(dòng)邊上下移動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置，其特征在于：所述蝸桿的一端通過隔熱層與所述噴淋頭固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置，其特征在于：所述蝸輪通過固定連接軸與一手輪固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置，其特征在于：所述蝸桿包括相連接的螺桿部和光桿部，所述蝸桿在螺桿部與蝸輪相嚙合，所述光桿部的外側(cè)端與所述噴淋頭固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置，其特征在于：所述蝸桿的外側(cè)設(shè)有蝸桿護(hù)套，所述蝸輪的外側(cè)設(shè)有蝸輪護(hù)套，所述蝸桿護(hù)套和所述蝸輪護(hù)套固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置，其特征在于：所述蝸桿護(hù)套的外側(cè)端與頂蓋固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述用于鍍膜工藝的噴淋頭調(diào)平裝置，其特征在于：所述光桿部的外側(cè)端通過隔熱層與所述噴淋頭固定連接。