[實用新型]一種新型的多段工藝供氣集成裝置

有效

• 申請號: 201120059925.5
• 申請日: 2011-03-09
• 公開（公告）號: CN202047130U
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發明（設計）人: 靳偉;李惠;李躍華
• 申請（專利權）人: 上海子創鍍膜技術有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 上海衡方知識產權代理有限公司 31234
• 代理人: 王福新

1.一種新型的多段工藝供氣集成裝置，其包括電磁閥、電磁閥板、通道管，其特征在于，所述電磁閥固定設置在電磁閥板的上部，以管螺紋與電磁閥板密封連接，通道管設置在電磁閥板內，所述電磁閥板的側面還設有入氣口，所述與入氣口所在面相交的另一側面設有出氣口。

2.根據權利要求1所述多段工藝供氣集成裝置，其特征在于，所述入氣口設有至少一段以上的入氣口，所述出氣口設有至少一段以上的出氣口。

3.根據權利要求1所述多段工藝供氣集成裝置，其特征在于，所述通管道，分為入氣通道管，出氣通道管，所述入氣通道管在入氣口和電磁閥之間起連接作用，所述出氣通道管在出氣口和電磁閥之間起連接作用。

4.根據權利要求1所述新型的多段工藝供氣集成裝置，其特征在于，所述出氣口分為主氣體出氣口和輔助氣體出氣口。

5.根據權利要求3或4所述多段工藝供氣集成裝置，其特征在于，所述出氣通道管又分為主氣體出氣通道管和輔助氣體出氣通道管，主氣體出氣通道管與主氣體出氣口相通，輔助氣體出氣通道管與輔助氣體出氣口相通。

6.根據權利要求1所述新型的多段工藝供氣集成裝置，其特征在于，每個出氣口還通過軟管與質量流量控制器相連。

7.根據權利要求6所述新型的多段工藝供氣集成裝置，其特征在于，所述質量流量控制器設置在真空手閥集成板上，所述真空手閥集成板內還設置有真空手閥，所述真空手閥集成板固定設置在真空腔體內。