[實用新型]三氯氫硅合成廢液汽化裝置

有效

• 申請號: 201120051462.8
• 申請日: 2011-03-01
• 公開（公告）號: CN201848184U
• 公開（公告）日: 2011-06-01
• 發明（設計）人: 楊龍;宋高杰;劉興平;王麗春;陳國輝
• 申請（專利權）人: 特變電工新疆硅業有限公司
• 主分類號: B01D47/06
• 分類號: B01D47/06;B01D1/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;鄧伯英

技術領域

本實用新型涉及一種三氯氫硅合成廢液汽化裝置，特別適用于加壓三氯氫硅合成尾氣廢液的汽化處理，以防止尾氣中的金屬氯化物沉積于管道內產生堵塞。

背景技術

目前、國內三氯氫硅的合成主要采用濕法除塵法進行制取，通過將三氯氫硅合成產生的氯硅烷冷凝后的液體對氯硅烷中的金屬氯化物及雜質進行淋洗，對淋洗后塔底的廢液進行排放后進入殘液系統，廢液經氫氧化鈉溶液進行淋洗處理。但由于洗滌塔底部廢液中含有大量的金屬氯化物，比如，氯化鋁、氯化鐵、氯化鈣等金屬雜質，此類雜質冷凝后容易變成固體，沉積于管道內(據文獻記載，金屬氯化物的冷凝溫度為80-90℃)。因而，通過管道輸送殘液時，金屬氯化物很快凝固沉積在管道中，使管道產生堵塞，并且拆卸管道時此類物質容易出現著火閃爆，這些嚴重制約了三氯氫硅合成工藝連續穩定的運行。

現有針對三氯氫硅廢液汽化的裝置還沒有報道，本裝置增加了就地與遠傳壓力表(5，6)，同時增加了安全閥接口(4)增加了設備的安全性。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術中存在的上述不足，提供一種可提高三氯氫硅合成尾氣處理系統的處理能力，減少管道堵塞的三氯氫硅合成廢液汽化裝置。

解決本實用新型技術問題所采用的技術方案是該三氯氫硅合成廢液汽化裝置，包括殼體和包覆在殼體外的外夾套，所述殼體上設有廢液進口，殼體頂部設有廢液汽化出口，外夾套所包覆的殼體部分處于廢液進口的下方，外夾套為中空夾套，外夾套上部設有蒸汽進口，其底部設有冷凝液出口。

優選的是，所述殼體底部還設有排渣檢修口。

優選的是，所述殼體頂部還設有安全閥接口，通過所述安全閥接口，使本裝置可與外部安全閥連接，以防止汽化后壓力較高而造成設備的損壞。

進一步優選的是，所述殼體頂部還設有就地壓力表接口和遠傳壓力表接口，通過在就地壓力表接口和遠傳壓力表接口上分別裝設相應的壓力表，以便于在裝置的近端和遠端都可以隨時觀察裝置內部壓力的變化情況。

優選的是，所述殼體的外形為圓筒狀。

優選的是，所述殼體的內徑為500mm，其高度為1500mm。

優選的是，所述廢液進口設于殼體的中部或上部。

其中，所述廢液汽化出口可與氫氧化鈉淋洗裝置連接，使用氫氧化鈉溶液對從廢液汽化出口中排出的汽化后的殘渣進行處理。所述廢液進口可與三氯氫硅合成尾氣處理系統連接，用于接收合成尾氣處理系統中排出的廢液殘渣。

進一步優選的是，與所述廢液進口、廢液汽化出口、蒸汽進口、冷凝液出口連接的管道上分別設有法蘭。并且，所述各個連接的管道采用蒸汽伴熱進行加熱。

從三氯氫硅合成尾氣處理系統排出的廢液進入本實用新型三氯氫硅合成廢液汽化裝置后，經外夾套的高溫蒸汽汽化后，從本裝置頂部的廢液汽化出口排出后，再經后續的堿液淋洗裝置進行淋洗，通過堿液淋洗實現對此廢液的無污染處理。

廢液流經本裝置后發生汽化，因而不會在管道內產生沉積，從而減少了管道堵塞，減少了處理管道時產生閃爆的危險，有效避免了傳統的三氯氫硅合成排液易出現管道堵塞，難以清理等缺點。同時，提高了三氯氫硅合成尾氣處理系統的處理能力，大大延長了處理裝置運行時間。并且，該裝置的造價成本低。

本實用新型三氯氫硅合成廢液汽化裝置可以實現對高壓氫硅合成爐尾氣處理塔的連續穩定運行，同時可實現對尾氣廢液進行無污染處理。

附圖說明

圖1為本實用新型三氯氫硅合成廢液汽化裝置的結構示意圖。

圖中：1-外夾套；2-殼體；3-廢液進口；4-安全閥接口；5-就地壓力表接口；6-遠傳壓力表接口；7-廢液汽化出口；8-備用口；9-蒸汽進口；10-冷凝液出口；11-排渣檢修口。

具體實施方式

為使本領域技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型三氯氫硅合成廢液汽化裝置作進一步詳細描述。

如圖1所示，本實用新型三氯氫硅合成廢液汽化裝置包括殼體2和包覆在殼體2外的外夾套1。本實施例中，殼體為圓筒狀，其內徑為φ500mm，長度為1500mm。

殼體2上設有廢液進口3，本實施例中，廢液進口3設于殼體的中部。殼體頂部設有廢液汽化出口7，殼體底部設有排渣檢修口11，殼體2上還設有備用口8。

外夾套1所包覆的殼體部分始終都在廢液進口3的下方。外夾套1為中空夾套，其內部可通入蒸汽。外夾套1上部設有蒸汽進口9，其底部設有冷凝液出口10。