[實用新型]三氯氫硅合成廢液汽化裝置

有效

• 申請號: 201120051462.8
• 申請日: 2011-03-01
• 公開（公告）號: CN201848184U
• 公開（公告）日: 2011-06-01
• 發明（設計）人: 楊龍;宋高杰;劉興平;王麗春;陳國輝
• 申請（專利權）人: 特變電工新疆硅業有限公司
• 主分類號: B01D47/06
• 分類號: B01D47/06;B01D1/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;鄧伯英

1.一種三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，包括殼體(2)和包覆在殼體(2)外的外夾套(1)，所述殼體(2)上設有廢液進口(3)，殼體頂部設有廢液汽化出口(7)，外夾套(1)所包覆的殼體部分處于廢液進口(3)的下方，外夾套(1)為中空夾套，外夾套(1)上部設有蒸汽進口(9)，其底部設有冷凝液出口(10)。

2.根據權利要求1所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述殼體(2)底部設有排渣檢修口(11)。

3.根據權利要求1所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述殼體(2)頂部設有安全閥接口(4)。

4.根據權利要求1所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述殼體(2)頂部設有就地壓力表接口(5)和遠傳壓力表接口(6)。

5.根據權利要求1-4之一所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述殼體(2)的外形為圓筒狀。

6.根據權利要求1-4之一所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述殼體(2)的內徑為500mm，其高度為1500mm。

7.根據權利要求1-4之一所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述廢液進口(3)設于殼體(2)的中部或上部。

8.根據權利要求1-4之一所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述廢液汽化出口(7)與氫氧化鈉淋洗裝置連接，所述廢液進口(3)與三氯氫硅合成尾氣處理系統連接。

9.根據權利要求1-4之一所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，與所述廢液進口(3)、廢液汽化出口(7)、蒸汽進口(9)、冷凝液出口(10)連接的管道上分別設有法蘭。

10.根據權利要求9所述的三氯氫硅合成廢液汽化裝置，其特征在于，所述各個連接的管道采用蒸汽伴熱對其進行加熱。