[實用新型]三軸集成硅微諧振式加速度計

無效

• 申請號: 201120051348.5
• 申請日: 2011-03-01
• 公開（公告）號: CN202013362U
• 公開（公告）日: 2011-10-19
• 發明（設計）人: 楊波;黃麗斌;王壽榮;李宏生;陳衛衛;李秀亮
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01P15/18
• 分類號: G01P15/18;B81B3/00
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種三軸集成硅微諧振式加速度計，包括上層微加速度計結構和下層玻璃基座（300）；所述微加速度計結構鍵合在玻璃基座（300）上,玻璃基座（300）上設有信號引線，微加速度計結構上的電極與相應的信號引線連接，其特征在于：所述上層微加速度計結構包括位于左邊的全解耦雙軸硅微諧振式加速度計（100）和位于右邊的單軸硅微諧振式加速度計（200）；所述全解耦雙軸硅微諧振式加速度計（100）由四個完全相同的線性諧振器子結構（101a、101b、101c、101d）和第一質量塊（102）組成，四個線性諧振器子結構（101a、101b、101c、101d）上下左右對稱設置；第一質量塊（102）分別通過第一組解耦梁（106a1、106a2、106b1、106b2、106c1、106c2、106d1、106d2）與四個線性諧振器子結構（101a、101b、101c、101d）連接，四個線性諧振器子結構的橫梁（103a、103b、103c、103d）通過第二組解耦梁（105a1、105a2、105b1、105b2、105c1、105c2、105d1、105d2）與固定基座（104a1、104a2、104b1、104b2、104c1、104c2、104d1、104d2）連接。

2.根據權利要求1所述三軸集成硅微諧振式加速度計，其特征在于：所述第一橫梁（103a）和第二橫梁（103b）在X軸方向運動；所述第三橫梁（103c）和第四橫梁（103d）在Y軸方向運動。

3.根據權利要求1所述三軸集成硅微諧振式加速度計，其特征在于：所述單軸硅微諧振式加速度計（200）由第二質量塊（202）和兩個扭轉諧振器（201a、201b）組成；所述第二質量塊（202）通過第一組扭桿（204a、204b）分別連接設于玻璃基座（300）上固定基座鍵合點上的第一錨點（203a）和第二錨點（203b）；所述兩個扭轉諧振器（201a、201b）分別由第二組扭桿（205a、205b）和第三組扭桿（206a、206b）、第一扭轉質量塊（211）和第二扭轉質量塊（212）、第一組電極（207a、207b、208a、208b、208c、208d）和第二組電極（209a、209b、210a、210b、210c、210d）組成；所述第二質量塊（202）通過第二組扭桿（205a、205b）和第三組扭桿（206a、206b）分別與第一扭轉質量塊（211）和第二扭轉質量塊（212）相連，第一組電極（207a、207b、208a、208b、208c、208d）和第二組電極（209a、209b、210a、210b、210c、210d）分別設于第一扭轉質量塊（211）和第二扭轉質量塊（212）的下面。

4.根據權利要求3所述三軸集成硅微諧振式加速度計，其特征在于：所述固定基座（104a1、104a2、104b1、104b2、104c1、104c2、104d1、104d2）與下層玻璃基座（300）的對應鍵合點（304a1、304a2、304b1、304b2、304c1、304c2、304d1、304d2）相連，第一錨點（203a）和第二錨點（203b）分別與下層玻璃基座（300）的對應鍵合點（314a、314b）相連。