[實用新型]晶粒分類旋轉機構

有效

• 申請號: 201120033586.3
• 申請日: 2011-01-30
• 公開（公告）號: CN201969693U
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發明（設計）人: 宋茂炎
• 申請（專利權）人: 梭特科技股份有限公司
• 主分類號: B07C5/02
• 分類號: B07C5/02;H01L21/66
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種晶粒分類旋轉機構，其特征在于，包括：

一芯片容置模塊(10)，包括一芯片容置匣(11)，所述芯片容置匣(11)容置有一芯片(111)，所述芯片(111)上具有待分類的多個晶粒(40)；

一分類片容置模塊(20)，包括一分類片容置匣(21)、一旋轉單元(23)以及一分類片雙軸移動單元(22)，所述分類片容置匣(21)通過所述旋轉單元(23)與所述分類片雙軸移動單元(22)樞接，所述分類片容置匣(21)容置有一分類片(211)，所述分類片(211)上置放已分類的多個所述晶粒(40)；以及

一挑揀模塊(30)，設置于所述芯片容置模塊(10)以及所述分類片容置模塊(20)之間，并包括一挑揀臂(31)。

2.根據權利要求1所述的晶粒分類旋轉機構，其特征在于，所述芯片容置模塊(10)還包括一頂針單元(13)以及一芯片雙軸移動單元(12)，所述芯片容置匣(11)與所述芯片雙軸移動單元(12)連接，所述頂針單元(13)抵觸所述芯片(111)。

3.根據權利要求2所述的晶粒分類旋轉機構，其特征在于，所述頂針單元(13)具有一單向移動構件(131)，所述單向移動構件(131)的移動方向垂直于所述芯片(111)的平面，所述頂針單元(13)通過所述單向移動構件(131)的移動抵觸所述芯片(111)。

4.根據權利要求1所述的晶粒分類旋轉機構，其特征在于，所述芯片容置匣(11)與所述分類片容置匣(21)為平行地相對設置。

5.根據權利要求1所述的晶粒分類旋轉機構，其特征在于，所述旋轉單元(23)的旋轉平面平行于所述分類片雙軸移動單元(22)的移動平面。

6.根據權利要求1所述的晶粒分類旋轉機構，其特征在于，所述挑揀模塊(30)還包括一基座(32)，所述挑揀臂(31)通過一徑向活動構件(33)與所述基座(32)連接。

7.根據權利要求6所述的晶粒分類旋轉機構，其特征在于，所述挑揀臂(31)通過一軸向活動構件(34)與所述徑向活動構件(33)連接。

8.根據權利要求1所述的晶粒分類旋轉機構，其特征在于，所述芯片(111)以垂直于地平面的角度置放于所述芯片容置匣(11)。

9.根據權利要求1所述的晶粒分類旋轉機構，其特征在于，所述分類片(211)以垂直于地平面的角度置放于所述分類片容置匣(21)。