[實(shí)用新型]集成電路生產(chǎn)線掃除真空系統(tǒng)的自動(dòng)前置處理裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120004881.6
• 申請(qǐng)日: 2011-01-10
• 公開（公告）號(hào): CN202021191U
• 公開（公告）日: 2011-11-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈祖宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號(hào): B08B13/00
• 分類號(hào): B08B13/00;B08B5/04
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 丁紀(jì)鐵

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種潔凈室專用輔助清潔裝置，具體屬于一種集成電路生產(chǎn)線掃除真空系統(tǒng)用的自動(dòng)前置處理裝置。?

背景技術(shù)

在集成電路的生產(chǎn)過程中，許多生產(chǎn)設(shè)備(尤其是CVD設(shè)備及其除害裝置)會(huì)產(chǎn)生大量粉末生成物，在機(jī)臺(tái)維護(hù)保養(yǎng)和風(fēng)管清掃中通常使用掃除真空系統(tǒng)將粉塵吸除，但是較大的生成物顆粒往往會(huì)引起管道堵塞。如圖1所示，單純?cè)趻叱婵障到y(tǒng)入口端增設(shè)過濾器1需要手工利用螺絲刀柄或錘子將大塊顆粒敲碎后再吸除，效率不高且產(chǎn)生的粉塵會(huì)影響潔凈度，還增加了維護(hù)保養(yǎng)需要的時(shí)間，造成機(jī)臺(tái)的利用率降低。?

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種集成電路生產(chǎn)線掃除真空系統(tǒng)的自動(dòng)前置處理裝置，在需要時(shí)能夠自動(dòng)將較大顆粒生成物磨碎排入掃除真空系統(tǒng)，防止掃除真空管道堵塞和粉塵影響潔凈生產(chǎn)廠房的環(huán)境。?

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的集成電路生產(chǎn)線掃除真空系統(tǒng)的自動(dòng)前置處理裝置包括封閉的腔體、設(shè)于腔體內(nèi)的磨碎盤、位于腔體外的驅(qū)動(dòng)電機(jī)、連接磨碎盤和驅(qū)動(dòng)電機(jī)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、控制電路；所述腔體一側(cè)設(shè)有入口管，另一側(cè)設(shè)有連接到掃除真空系統(tǒng)上的出口管，入口管和出口管之間設(shè)有壓差開關(guān)，腔體的底部設(shè)有下限位開關(guān)，上部設(shè)有上限位開關(guān)；?所述壓差開關(guān)、上限位開關(guān)、下限位開關(guān)和驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接到控制電路，控制電路控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)正、反轉(zhuǎn)帶動(dòng)磨碎盤在腔體內(nèi)上、下運(yùn)動(dòng)。?

在上述結(jié)構(gòu)中，腔體包括筒體和頂蓋，頂蓋通過螺釘固定在筒體上，入口管和出口管設(shè)于筒體上，出口管靠近筒體一側(cè)裝有出口過濾器，磨碎盤呈圓盤狀。所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定安裝在驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸上的齒輪盤、驅(qū)動(dòng)螺桿、與驅(qū)動(dòng)螺桿相互嚙合的傳動(dòng)螺桿，所述驅(qū)動(dòng)螺桿上裝有與齒輪盤嚙合的齒輪，所述傳動(dòng)螺桿的頂部固定連接在磨碎盤的底部。?

其中，控制電路包括電機(jī)正轉(zhuǎn)繼電器和電機(jī)反轉(zhuǎn)繼電器；所述壓差開關(guān)的常開觸點(diǎn)與電機(jī)正轉(zhuǎn)繼電器的常開觸點(diǎn)并聯(lián)后與上限位開關(guān)的常閉觸點(diǎn)、電機(jī)正轉(zhuǎn)繼電器的線圈串聯(lián)為第一支路；所述上限位開關(guān)的常開觸點(diǎn)與電機(jī)反轉(zhuǎn)繼電器的常開觸點(diǎn)并聯(lián)后與下限位開關(guān)的常閉觸點(diǎn)、電機(jī)反轉(zhuǎn)繼電器的線圈串聯(lián)為第二支路。?

優(yōu)選的，所述控制電路還包括電機(jī)正轉(zhuǎn)定時(shí)器、電機(jī)反轉(zhuǎn)定時(shí)器、報(bào)警繼電器、復(fù)位按鈕、報(bào)警指示燈和/或蜂鳴器；所述壓差開關(guān)的常開觸點(diǎn)與電機(jī)正轉(zhuǎn)繼電器的常開觸點(diǎn)并聯(lián)后與電機(jī)反轉(zhuǎn)繼電器的常閉觸點(diǎn)、上限位開關(guān)的常閉觸點(diǎn)、電機(jī)正轉(zhuǎn)定時(shí)器的常閉觸點(diǎn)串聯(lián)，再串聯(lián)上相互并聯(lián)的電機(jī)正轉(zhuǎn)繼電器的線圈、電機(jī)正轉(zhuǎn)定時(shí)器的線圈構(gòu)成第一支路；所述上限位開關(guān)的常開觸點(diǎn)、電機(jī)反轉(zhuǎn)繼電器的常開觸點(diǎn)、復(fù)位按鈕的常開觸點(diǎn)并聯(lián)后與電機(jī)正轉(zhuǎn)繼電器的常閉觸點(diǎn)、下限位開關(guān)的常閉觸點(diǎn)、電機(jī)反轉(zhuǎn)定時(shí)器的常閉觸點(diǎn)串聯(lián)，再串聯(lián)上相互并聯(lián)的電機(jī)反轉(zhuǎn)繼電器的線圈、電機(jī)反轉(zhuǎn)定時(shí)器的線圈構(gòu)成第二支路；所述電機(jī)正轉(zhuǎn)定時(shí)器的常開觸點(diǎn)、電?機(jī)反轉(zhuǎn)定時(shí)器的常開觸點(diǎn)、電機(jī)過載開關(guān)的常開觸點(diǎn)并聯(lián)后與報(bào)警繼電器的線圈串聯(lián)構(gòu)成第三支路；所述報(bào)警指示燈和/或蜂鳴器與報(bào)警繼電器的常開觸點(diǎn)串聯(lián)構(gòu)成第四支路。?

本實(shí)用新型在集成電路生產(chǎn)線用掃除真空系統(tǒng)的管道前增加自動(dòng)前置處理裝置，該裝置在較大顆粒物堵塞出口管引起出入口管壓差超過預(yù)定值時(shí)可以自動(dòng)將較大的生成物顆粒磨碎后再排入掃除真空系統(tǒng)，避免了大顆粒生成物堵塞掃除真空管，以及粉塵影響潔凈生產(chǎn)廠房的環(huán)境，提高了掃除真空設(shè)備的使用效率，縮短了機(jī)臺(tái)維護(hù)保養(yǎng)的時(shí)間，從而提高了經(jīng)濟(jì)效益。?

附圖說明

下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明：?

圖1是已知的掃除真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖2是本實(shí)用新型的自動(dòng)前置處理裝置未啟動(dòng)的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖3是本實(shí)用新型中出口過濾器的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖4是本實(shí)用新型中磨碎盤的俯視圖；?

圖5是本實(shí)用新型的自動(dòng)前置處理裝置啟動(dòng)的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖6是本實(shí)用新型的控制電路圖。?

其中附圖標(biāo)記說明如下：?

1為過濾器；2為腔體；21為筒體；22為頂蓋；3為磨碎盤；4為驅(qū)動(dòng)電機(jī)；5為入口管；6為出口管；10為齒輪盤；11為齒輪；12為驅(qū)動(dòng)螺桿；13為傳動(dòng)螺桿；14為出口過濾器；15為觀察窗；?

X1為壓差開關(guān)；X2為上限位開關(guān)；X3為下限位開關(guān)；X4為電機(jī)過載開關(guān)；RST為復(fù)位按鈕；KM1為電機(jī)正轉(zhuǎn)繼電器；KM2為電機(jī)反轉(zhuǎn)繼電器；A1為報(bào)警繼電器；T1為電機(jī)正轉(zhuǎn)定時(shí)器；T2為電機(jī)反轉(zhuǎn)定時(shí)器；RL為報(bào)警指示燈；BZ為蜂鳴器。?

具體實(shí)施方式