[實用新型]集成電路生產(chǎn)線掃除真空系統(tǒng)的自動前置處理裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120004881.6 | 申請日： | 2011-01-10 |
| 公開（公告）號： | CN202021191U | 公開（公告）日： | 2011-11-02 |
| 發(fā)明（設計）人： | 沈祖宏 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海華虹NEC電子有限公司 |
| 主分類號： | B08B13/00 | 分類號： | B08B13/00;B08B5/04 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁紀鐵 |
| 地址： | 201206 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 集成電路 生產(chǎn)線 掃除 真空 系統(tǒng) 自動 前置 處理 裝置 | ||
1.一種集成電路生產(chǎn)線掃除真空系統(tǒng)的自動前置處理裝置，其特征在于：包括封閉的腔體、設于腔體內(nèi)的磨碎盤、位于腔體外的驅(qū)動電機、連接磨碎盤和驅(qū)動電機的傳動機構(gòu)、控制電路；所述腔體一側(cè)設有入口管，另一側(cè)設有連接到掃除真空系統(tǒng)上的出口管，入口管和出口管之間設有壓差開關(guān)，腔體的底部設有下限位開關(guān)，上部設有上限位開關(guān)；所述壓差開關(guān)、上限位開關(guān)、下限位開關(guān)和驅(qū)動電機連接到控制電路，控制電路控制驅(qū)動電機正、反轉(zhuǎn)帶動磨碎盤在腔體內(nèi)上、下運動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路生產(chǎn)線掃除真空系統(tǒng)的自動前置處理裝置，其特征在于：所述腔體包括筒體和頂蓋，頂蓋通過螺釘固定在筒體上，所述入口管和出口管設于筒體上，出口管位于筒體內(nèi)的一側(cè)裝有出口過濾器，所述磨碎盤呈圓盤狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路生產(chǎn)線掃除真空系統(tǒng)的自動前置處理裝置，其特征在于：所述控制電路包括電機正轉(zhuǎn)繼電器和電機反轉(zhuǎn)繼電器；
所述壓差開關(guān)的常開觸點與電機正轉(zhuǎn)繼電器的常開觸點并聯(lián)后與上限位開關(guān)的常閉觸點、電機正轉(zhuǎn)繼電器的線圈串聯(lián)為第一支路；
所述上限位開關(guān)的常開觸點與電機反轉(zhuǎn)繼電器的常開觸點并聯(lián)后與下限位開關(guān)的常閉觸點、電機反轉(zhuǎn)繼電器的線圈串聯(lián)為第二支路。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的集成電路生產(chǎn)線掃除真空系統(tǒng)的自動前置處理裝置，其特征在于：所述控制電路還包括電機正轉(zhuǎn)定時器、電機反轉(zhuǎn)定時器、報警繼電器、復位按鈕、報警指示燈和/或蜂鳴器；
所述壓差開關(guān)的常開觸點與電機正轉(zhuǎn)繼電器的常開觸點并聯(lián)后與電機反轉(zhuǎn)繼電器的常閉觸點、上限位開關(guān)的常閉觸點、電機正轉(zhuǎn)定時器的常閉觸點串聯(lián)，再串聯(lián)上相互并聯(lián)的電機正轉(zhuǎn)繼電器的線圈、電機正轉(zhuǎn)定時器的線圈構(gòu)成第一支路；
所述上限位開關(guān)的常開觸點、電機反轉(zhuǎn)繼電器的常開觸點、復位按鈕的常開觸點并聯(lián)后與電機正轉(zhuǎn)繼電器的常閉觸點、下限位開關(guān)的常閉觸點、電機反轉(zhuǎn)定時器的常閉觸點串聯(lián)，再串聯(lián)上相互并聯(lián)的電機反轉(zhuǎn)繼電器的線圈、電機反轉(zhuǎn)定時器的線圈構(gòu)成第二支路；
所述電機正轉(zhuǎn)定時器的常開觸點、電機反轉(zhuǎn)定時器的常開觸點、電機過載開關(guān)的常開觸點并聯(lián)后與報警繼電器的線圈串聯(lián)構(gòu)成第三支路；
所述報警指示燈和/或蜂鳴器與報警繼電器的常開觸點串聯(lián)構(gòu)成第四支路。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任何一項所述的集成電路生產(chǎn)線掃除真空系統(tǒng)的自動前置處理裝置，其特征在于：所述傳動機構(gòu)包括固定安裝在驅(qū)動電機輸出軸上的齒輪盤、驅(qū)動螺桿、與驅(qū)動螺桿相互嚙合的傳動螺桿，所述驅(qū)動螺桿上裝有與齒輪盤嚙合的齒輪，所述傳動螺桿的頂部固定連接在磨碎盤的底部。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的集成電路生產(chǎn)線掃除真空系統(tǒng)的自動前置處理裝置，其特征在于：所述報警指示燈與蜂鳴器并聯(lián)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的集成電路生產(chǎn)線掃除真空系統(tǒng)的自動前置處理裝置，其特征在于：所述磨碎盤上表面設有多個突起物。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路生產(chǎn)線掃除真空系統(tǒng)的自動前置處理裝置，其特征在于：所述筒體上設有透明的觀察窗。
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