[實用新型]曲柄滑塊式可調脈沖上下熱封機構有效

申請號：	201120002711.4	申請日：	2011-01-06
公開（公告）號：	CN202384301U	公開（公告）日：	2012-08-15
發明（設計）人：	劉金波;付廷喜;付玉磊;李向前;袁東秀;張晉	申請（專利權）人：	天津伍嘉聯創科技發展有限公司
主分類號：	H01L21/50	分類號：	H01L21/50;H01L21/56
代理公司：	天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201	代理人：	王麗英
地址：	300451 天津市塘沽區***	國省代碼：	天津;12
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摘要：
搜索關鍵詞：	曲柄滑塊式可調脈沖上下機構
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【權利要求書】：

1.曲柄滑塊式可調脈沖上下熱封機構，其特征在于：它包括步進電機，步進電機與上下驅動擺桿一端聯接，驅動擺桿另一端聯接凸輪軸承，上下隨動板上的長條孔與凸輪軸承做相切配合，上下隨動板聯接雙滑軌安裝板，雙滑軌安裝板背部通過安裝在其上的兩個平行設置的滑塊與安裝在后大立板上的兩個滑軌上下往復運動相滑動配合，在所述的雙滑軌安裝板底部聯接有熱封執行組件。

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