[發(fā)明專利]固晶裝置及固晶方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110461815.6
• 申請日: 2011-12-27
• 公開（公告）號: CN103107248A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發(fā)明（設計）人: 鍾君煒;羅偉誠;吳榮崑;姜崇義
• 申請（專利權）人: 華新麗華股份有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L21/683
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 駱希聰

1.一種固晶裝置，用以將置于一第一置放區(qū)的多個晶粒固設于一第二置放區(qū)的一基板，包含：

一晶粒吸取器，可移動地位于該第一置放區(qū)及該第二置放區(qū)的上方，該晶粒吸取器具有多個吸嘴；

其中，所述吸嘴用以將該第一置放區(qū)上的一預定數(shù)量的所述晶粒吸起，然后同時地放置在該基板上。

2.如權利要求1所述的固晶裝置，還包括一移動裝置，該移動裝置連接該晶粒吸取器，用以移動該晶粒吸取器，其中該晶粒吸取器還包含：

一本體，所述吸嘴設置于該本體的一側(cè)；以及

多個對準裝置，設置于該本體內(nèi)，并分別耦接所述吸嘴；其中各該對準裝置用以單獨地移動及/或轉(zhuǎn)動各該吸嘴。

3.如權利要求1所述的固晶裝置，還包括一移動裝置，該移動裝置連接該晶粒吸取器，用以移動及/或轉(zhuǎn)動該晶粒吸取器，其中該晶粒吸取器還包含一本體，所述吸嘴固定地設置于該本體的一側(cè)。

4.如權利要求2或3所述的固晶裝置，還包含一影像擷取器，該影像擷取器電性連接該晶粒吸取器，并用以擷取各該晶粒的一影像。

5.一種固晶裝置，用以將置于一第一置放區(qū)的多個晶粒固設于一第二置放區(qū)的一基板，包含：

一晶粒承載臺；

一第一晶粒吸取器，可移動地位于該第一置放區(qū)及該晶粒承載臺的上方，該第一晶粒吸取器具有一第一吸嘴；以及

一第二晶粒吸取器，可移動地位于該第二置放區(qū)及該晶粒承載臺的上方，該第二晶粒吸取器具有多個第二吸嘴；

其中，該第一吸嘴用以將該第一置放區(qū)上的所述晶粒的其中之一吸起并對準放置于該晶粒承載臺上，直至該第一晶粒吸取器將一預定數(shù)量的所述晶粒放置于該晶粒承載臺上，所述第二吸嘴用以同時吸取并放置該預定數(shù)量的所述晶粒至該基板上。

6.如權利要求5所述的固晶裝置，還包含一移動裝置，該移動裝置連接該第一晶粒吸取器，用以移動及/或轉(zhuǎn)動該第一晶粒吸取器。

7.如權利要求5所述的固晶裝置，還包含一移動裝置，該移動裝置連接該第二晶粒吸取器，用以移動該第二晶粒吸取器，其中該第二晶粒吸取器還包含一本體，所述吸嘴固定地設置于該本體的一側(cè)。

8.如權利要求6所述的固晶裝置，還包含一影像擷取器，該影像擷取器電性連接該第一晶粒吸取器及該第二晶粒吸取器，并用以擷取被該第一吸嘴吸起的各該晶粒的一影像。

9.如權利要求5所述的固晶裝置，其特征在于，該晶粒承載臺具有一真空吸附面。

10.一種固晶方法，用以將置于一第一置放區(qū)的多個晶粒固設于一第二置放區(qū)的一基板，包含：

移動一晶粒吸取器以對準置于該第一置放區(qū)的所述晶粒其中之一后吸取該其中之一晶粒；

重復上述步驟至該晶粒吸取器吸取一預定數(shù)量的所述晶粒；以及

移動該晶粒吸取器以同時放置該預定數(shù)量的所述晶粒至第二置放區(qū)的該基板上。

11.如權利要求10所述的固晶方法，其特征在于，移動該晶粒吸取器的該步驟還包含：

由一影像擷取器擷取各該晶粒的一影像；

依據(jù)該影像移動該晶粒吸取器以對準并吸取置于該第一置放區(qū)的該其中之一晶粒。

12.一種固晶方法，用以將置于一第一置放區(qū)的多個晶粒固設于一第二置放區(qū)的一基板，包含：

移動一具有多個吸嘴的晶粒吸取器以吸取置于該第一置放區(qū)的一預定數(shù)量的所述晶粒；

驅(qū)動所述吸嘴使被吸取的該預定數(shù)量的所述晶粒對準排列；以及

移動該晶粒吸取器以同時放置該預定數(shù)量的所述晶粒至該第二置放區(qū)的該基板上。

13.如權利要求12所述的固晶方法，其特征在于，驅(qū)動所述吸嘴的該步驟還包含：

由一影像擷取器擷取被吸取的各該晶粒的一影像；以及

依據(jù)各該影像驅(qū)動該晶粒吸取器的各該吸嘴以對準各該晶粒所對應的一預定方位。