[發(fā)明專(zhuān)利]固晶裝置及固晶方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110461815.6
• 申請(qǐng)日: 2011-12-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103107248A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鍾君煒;羅偉誠(chéng);吳榮崑;姜崇義
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 華新麗華股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L33/00
• 分類(lèi)號(hào): H01L33/00;H01L21/683
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 駱希聰

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是關(guān)于一種固晶裝置及固晶方法，尤其是關(guān)于一種可一次性地同時(shí)固晶多個(gè)晶粒的固晶裝置及固晶方法。

背景技術(shù)

近年來(lái)，發(fā)光二極管(Light?Emitting?Diode，LED)因節(jié)能、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，已成為未來(lái)綠色光源的發(fā)展重點(diǎn)。目前業(yè)界在進(jìn)行發(fā)光二極管封裝時(shí)，多使用具備單一吸嘴的單一吸取器，將發(fā)光二極管晶粒逐一從膠膜上吸取后再逐一安裝至基板(或基座)上，以完成發(fā)光二極管晶粒的固晶制程。接著，再進(jìn)行打線、封膠等后續(xù)制程，以進(jìn)一步制作完成整個(gè)封裝體。

前述傳統(tǒng)固晶制程即為已知的序列式固晶方法，由于此序列式固晶方法是逐一吸取及安裝晶粒，因此，將全部晶粒安裝完畢勢(shì)必得花費(fèi)很多時(shí)間。為解決上述問(wèn)題，業(yè)界已相繼提出改善方案，例如中國(guó)臺(tái)灣專(zhuān)利證書(shū)號(hào)TW?I327344披露一種固晶制程，其將固晶制程區(qū)分為預(yù)壓合與主壓合兩個(gè)階段，并于固晶制程中較耗時(shí)的主壓合階段導(dǎo)入多晶粒同步壓合的方法，借以提升整體固晶速度。然而，此固晶制程中的預(yù)壓合階段仍采用耗時(shí)的傳統(tǒng)序列式固晶方法，且此兩階段壓合制程亦非適用于所有的發(fā)光二極管固晶制程。

中國(guó)臺(tái)灣專(zhuān)利公開(kāi)號(hào)TW?200947641則披露了一種省略固晶吸取器的固晶裝置，該固晶裝置可利用頂針單元直接將晶粒頂起并轉(zhuǎn)置于基板接合面，以使晶粒與基板接合。此種固晶方式雖然可省略吸取器動(dòng)作的時(shí)間，借以提升固晶速度，只是此方法仍屬于序列式固晶方法，且省略使用固晶吸取器將會(huì)明顯降低固晶的精準(zhǔn)度。

此外，中國(guó)臺(tái)灣專(zhuān)利公開(kāi)號(hào)TW?200952211另披露一種固晶方法，該方法除了省略固晶吸取器之外，也采用了多晶粒同步固晶的制程，因此可大幅提升固晶速度。但由于省略了固晶吸取器，該方法難以用于高精準(zhǔn)度的固晶制程。

因此，若于固晶制程中采用已知的序列式固晶方法將會(huì)明顯地耗時(shí)，而省略固晶吸取器的方法雖可提升固晶速度，但卻不適用于高精準(zhǔn)度的固晶制程。

有鑒于此，發(fā)展一種可克服至少一種上述缺點(diǎn)的固晶裝置及固晶方法，乃是業(yè)界極力發(fā)展的目標(biāo)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種固晶裝置及固晶方法，可將多個(gè)晶粒同時(shí)固設(shè)于基板上。

為達(dá)前述目的，本發(fā)明提出一種固晶裝置，包含一晶粒吸取器，可移動(dòng)地位于一第一置放區(qū)及一第二置放區(qū)的上方，該晶粒吸取器具有多個(gè)吸嘴，所述吸嘴用以將該第一置放區(qū)上的一預(yù)定數(shù)量的晶粒吸起，然后同時(shí)地放置在該基板上。

為達(dá)到前述目的，本發(fā)明另提出一種固晶裝置，包含：一晶粒承載臺(tái)；一第一晶粒吸取器，可移動(dòng)地位于一第一置放區(qū)及該晶粒承載臺(tái)的上方，該第一晶粒吸取器具有一第一吸嘴；以及一第二晶粒吸取器，可移動(dòng)地位于一第二置放區(qū)及該晶粒承載臺(tái)的上方，該第二晶粒吸取器具有多個(gè)第二吸嘴。該第一吸嘴用以將該第一置放區(qū)上的多個(gè)晶粒的其中之一吸起并對(duì)準(zhǔn)放置于該晶粒承載臺(tái)上，直至該第一晶粒吸取器將一預(yù)定數(shù)量的所述晶粒放置于該晶粒承載臺(tái)上，所述第二吸嘴用以同時(shí)吸取并放置該預(yù)定數(shù)量的所述晶粒至一基板上。

為達(dá)到前述目的，本發(fā)明另提出一種固晶方法，包含：移動(dòng)一晶粒吸取器以對(duì)準(zhǔn)置于一第一置放區(qū)的多個(gè)晶粒其中之一后吸取該其中之一晶粒；重復(fù)上述步驟至該晶粒吸取器吸取一預(yù)定數(shù)量的所述晶粒；以及移動(dòng)該晶粒吸取器以同時(shí)放置該預(yù)定數(shù)量的所述晶粒至一第二置放區(qū)的一基板上。

為達(dá)到前述目的，本發(fā)明另提出一種固晶方法，包含：移動(dòng)一具有多個(gè)吸嘴的晶粒吸取器以吸取置于一第一置放區(qū)的一預(yù)定數(shù)量的晶粒；驅(qū)動(dòng)所述吸嘴使被吸取的該預(yù)定數(shù)量的所述晶粒對(duì)準(zhǔn)排列；以及移動(dòng)該晶粒吸取器以同時(shí)放置該預(yù)定數(shù)量的所述晶粒至一第二置放區(qū)的一基板上。

為達(dá)到前述目的，本發(fā)明另提出一種固晶方法，包含：移動(dòng)一第一晶粒吸取器以吸取置于一第一置放區(qū)的多個(gè)晶粒其中之一；對(duì)準(zhǔn)放置該其中之一晶粒于一晶粒承載臺(tái)的一預(yù)定區(qū)域；重復(fù)上述步驟至該第一晶粒吸取器將一預(yù)定數(shù)量的所述晶粒放置于該晶粒承載臺(tái)上；以及移動(dòng)一第二晶粒吸取器以同時(shí)吸取并放置該預(yù)定數(shù)量的所述晶粒至一第二置放區(qū)的一基板上。

借此，本發(fā)明的固晶裝置及固晶方法可兼具同步固晶的速度優(yōu)勢(shì)與固晶吸取器的良好精準(zhǔn)度，亦可避免傳統(tǒng)序列式固晶的耗時(shí)及省略吸取器所造成的對(duì)位不準(zhǔn)確等缺失，并減少傳統(tǒng)制程需反復(fù)固晶加熱的步驟，以降低晶粒累積不必要的熱預(yù)算。

附圖說(shuō)明

為讓本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作詳細(xì)說(shuō)明，其中：

圖1A為本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的固晶裝置示意圖；

圖1B為本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的固晶方法流程圖；