[發(fā)明專利]一種鋁鉬蝕刻液及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110461737.X
• 申請(qǐng)日: 2011-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN102534619A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 殷福華;季文慶;朱龍;邵勇;欒成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江陰江化微電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): C23F1/20
• 分類號(hào): C23F1/20;C23F1/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種蝕刻液及其制備方法，尤其涉及一種用于鋁層和鉬層的鋁鉬蝕刻液及其制備方法。

背景技術(shù)

鋁鉬蝕刻液，本品為無色透明液體，有酸性氣味，該產(chǎn)品主要用作半導(dǎo)體或FPD(Flat?Panel?Display，平板顯示器)面板制程中鋁層和鉬層的蝕刻，目前鋁鉬蝕刻液主要由磷酸、硝酸和醋酸組成；該鋁鉬蝕刻液主要存在以下幾點(diǎn)缺點(diǎn)：

1)鋁鉬蝕刻液蝕刻角度難以控制，無法滿足不同客戶對(duì)蝕刻角度的需求，使用效果不是很好，影響產(chǎn)品的良率；

2)鋁鉬蝕刻液對(duì)金屬層的蝕刻量難以控制，無法滿足不同客戶對(duì)蝕刻角度的需求，容易時(shí)刻過量，也會(huì)影響到產(chǎn)品的優(yōu)良率。因此有必要提供鋁鉬蝕刻液及其制備方法，提高蝕刻產(chǎn)品優(yōu)良率，滿足不同用戶對(duì)蝕刻角度和蝕刻量的要求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種鋁鉬蝕刻液及其制備方法，能夠提高蝕刻產(chǎn)品優(yōu)良率，滿足不同用戶對(duì)蝕刻角度和蝕刻量的要求。

本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題而采用的技術(shù)方案是提供一種鋁鉬蝕刻液，包括以下重量百分比的組合物：

磷酸????????????????????????60％～80％；

硝酸????????????????????????1％～10％；

醋酸鈉??????????????????????1％～10％；

聚氧乙烯烷基苯基醚??????????0.1％～0.5％；

水??????????????????????????10％～30％。

上述的鋁鉬蝕刻液，其中，所述磷酸的濃度為85％～86％(重量百分比)。

上述的鋁鉬蝕刻液，其中，所述硝酸的濃度為69％～71％(重量百分比)。

上述的鋁鉬蝕刻液，其中，所述醋酸鈉的純度大于99％(重量百分比)。

上述的鋁鉬蝕刻液，其中，所述聚氧乙烯烷基苯基醚的濃度大于99％(重量百分比)。

本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題還提供一種鋁鉬蝕刻液的制備方法，包括如下步驟：

先稱取一定量的磷酸，在攪拌下加入硝酸，充分?jǐn)嚢杈鶆颍?/p>

然后加入醋酸鈉，循環(huán)攪拌1～2小時(shí)；

接著加入非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基醚和水，其中，磷酸的重量百分含量為60％～80％，硝酸的重量百分含量為1％～10％；醋酸鈉的重量百分含量為1％～10％，聚氧乙烯烷基苯基醚的重量百分含量為0.1％～0.5％，水的重量百分含量為10％～30％；再循環(huán)攪拌11～2小時(shí)；

最后將制得的混合物先經(jīng)0.5μm的過濾器循環(huán)過濾，再經(jīng)0.2μm的過濾器過濾，以去除混合物中粒徑大于0.2μm的有害粒子，即得鋁鉬蝕刻液。

本發(fā)明對(duì)比現(xiàn)有技術(shù)有如下的有益效果：本發(fā)明提供的鋁鉬蝕刻液及其制備方法，通過在鋁鉬蝕刻液中引入的醋酸鈉起到了緩沖劑的作用，使刻蝕速度得到控制，從而達(dá)到控制住刻蝕角度的要求，能滿足不同客戶對(duì)刻蝕角度的要求；加入非離子型界面活性劑聚氧乙烯烷基苯基醚，使產(chǎn)品對(duì)金屬層的滲透性提高，從而達(dá)到控制刻蝕量的要求，能滿足不同客戶對(duì)刻蝕量的要求。

具體實(shí)施方式

下面通過實(shí)施例進(jìn)一步描述本發(fā)明，但不限于所舉的實(shí)施例。

選用濃度為85重量％的磷酸，電子級(jí)，江陰澄星磷化工有限公司生產(chǎn)，其指標(biāo)如表1：