[發明專利]一種鋁鉬蝕刻液及其制備方法

有效

• 申請號: 201110461737.X
• 申請日: 2011-12-30
• 公開（公告）號: CN102534619A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 殷福華;季文慶;朱龍;邵勇;欒成
• 申請（專利權）人: 江陰江化微電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23F1/20
• 分類號: C23F1/20;C23F1/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種鋁鉬蝕刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的組合物：

磷酸????????????????????60％～80％；

硝酸????????????????????1％～10％；

醋酸鈉??????????????????1％～10％；

聚氧乙烯烷基苯基醚??????0.1％～0.5％；

水??????????????????????10％～30％。

2.如權利要求1所述的鋁鉬蝕刻液，其特征在于，所述磷酸的濃度為85％～86％(重量百分比)。

3.如權利要求1所述的鋁鉬蝕刻液，其特征在于，所述硝酸的濃度為69％～71％(重量百分比)。

4.如權利要求1所述的鋁鉬蝕刻液，其特征在于，所述醋酸鈉的純度大于99％(重量百分比)。

5.如權利要求1所述的鋁鉬蝕刻液，其特征在于，所述聚氧乙烯烷基醚的濃度大于99％(重量百分比)。

6.一種如權利要求1所述的鋁鉬蝕刻液的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

先稱取一定量的磷酸，在攪拌下加入硝酸，充分攪拌均勻；

然后加入醋酸鈉，循環攪拌1～2小時；

接著加入非離子型表面活性劑聚氧乙烯烷基醚和水，其中，磷酸的重量百分含量為60％～80％，硝酸的重量百分含量為1％～10％；醋酸鈉的重量百分含量為1％～10％，聚氧乙烯烷基苯基醚的重量百分含量為0.1％～0.5％，水的重量百分含量為10％～30％；再循環攪拌1～2小時；

最后將制得的混合物先經0.5μm的過濾器循環過濾，再經0.2μm的過濾器過濾，以去除混合物中粒徑大于0.2μm的有害粒子，即得鋁鉬蝕刻液。