[發(fā)明專利]ICP光譜分析系統(tǒng)及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110461598.0
• 申請(qǐng)日: 2011-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN102565030A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳文益;俞曉峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 聚光科技(杭州)股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/73
• 分類號(hào): G01N21/73
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及位移的測(cè)量，特別涉及ICP光譜分析系統(tǒng)及傳感方法。

背景技術(shù)

在ICP光譜分析系統(tǒng)使用的時(shí)候，為了使分析系統(tǒng)能達(dá)到正常工作的要求，需要打開吹掃氣(一般為氬氣)對(duì)光室和氣路進(jìn)行吹掃，從而置換光室內(nèi)的原有氣體，吹掃時(shí)間短則數(shù)十分鐘，長(zhǎng)則幾個(gè)小時(shí)。由于每次開機(jī)都要進(jìn)行吹掃，所以對(duì)氣體的消耗量特別大，這對(duì)用戶來說是一筆不小的開銷。

現(xiàn)有的解決方法是讓用戶自己手動(dòng)操作來控制吹掃時(shí)間，以用戶自己的經(jīng)驗(yàn)來判斷吹掃時(shí)間是否達(dá)到系統(tǒng)正常工作要求，達(dá)到要求后關(guān)閉吹掃。另一種方法是進(jìn)行不間斷吹掃，吹掃氣體消耗量更大。這些方法要么操作繁瑣，要么非常浪費(fèi)氬氣，無法幫助用戶對(duì)吹掃進(jìn)行精確控制。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)方案中的不足，本發(fā)明提供了一種智能化、運(yùn)行成本低的ICP光譜分析系統(tǒng)以及方法。

本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

ICP光譜分析系統(tǒng)，所述分析系統(tǒng)包括炬管、光室，所述炬管設(shè)置在炬室內(nèi)；所述分析系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

壓力或時(shí)間測(cè)量單元，輸出端連接判斷人員設(shè)備，所述壓力測(cè)量單元設(shè)置在所述光室內(nèi)；

進(jìn)氣閥門，所述進(jìn)氣閥門設(shè)置在光室的進(jìn)氣口上，輸入端連接控制人員設(shè)備；氣源通過所述進(jìn)氣閥門與所述光室連通；

排氣閥門，所述排氣閥門設(shè)置在所述光室的排氣口，輸入端連接控制人員設(shè)備；

判斷人員設(shè)備，所述判斷人員設(shè)備用于根據(jù)壓力或時(shí)間測(cè)量單元傳送來的信號(hào)而判斷所述光室內(nèi)的吹掃氣體是否滿足測(cè)量的要求，判斷結(jié)果傳送來控制人員設(shè)備；

控制人員設(shè)備，所述控制人員設(shè)備用于根據(jù)接收到的所述判斷結(jié)果而控制所述進(jìn)氣閥門、排氣閥門的開啟、關(guān)閉。

根據(jù)上述的分析系統(tǒng)，可選地，所述分析系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

排氣管，所述排氣管的一端連接所述炬室，另一端連接所述排氣口。

本發(fā)明的目的還通過以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)：

ICP光譜分析方法，所述分析方法包括以下步驟：

(A1)激發(fā)等離子體光源，該光源發(fā)出的測(cè)量光進(jìn)入光室內(nèi)，穿過光室內(nèi)的吹掃氣體后，被探測(cè)器接收、轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，并傳送到判斷人員設(shè)備；

所述光室與外界保持密封；

(A2)判斷人員設(shè)備根據(jù)接收到的所述電信號(hào)而獲知光室內(nèi)氣體對(duì)所述測(cè)量光的衰減程度，從而判斷所述光室內(nèi)的吹掃氣體是否滿足測(cè)量的要求：

若判斷結(jié)果為是，進(jìn)入下一步驟；

若判斷結(jié)果為否，則向所述光室內(nèi)充入吹掃氣體，直到滿足測(cè)量的要求，進(jìn)入下一步驟；

(A3)待測(cè)物被所述光源激發(fā)而成為等離子體，發(fā)出的光進(jìn)入光室，被所述探測(cè)器接收后轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，分析單元利用光譜技術(shù)處理該電信號(hào)，從而獲知待測(cè)物中含量信息。

根據(jù)上述的分析方法，可選地，所述分析方法進(jìn)一步包括以下步驟：

(B1)測(cè)得光室內(nèi)的壓力或上次待測(cè)物測(cè)量結(jié)束到目前的時(shí)間，并傳送到判斷人員設(shè)備；

(B2)判斷人員設(shè)備根據(jù)接收到的壓力或時(shí)間而判斷光室內(nèi)殘留的吹掃氣體是否滿足測(cè)量要求：

若判斷結(jié)果為是，則進(jìn)入步驟(A1)；

若判斷結(jié)果為否，則向所述光室內(nèi)充入吹掃氣體，直到滿足測(cè)量的要求，進(jìn)入步驟(A1)。

根據(jù)上述的分析方法，可選地，所述分析方法進(jìn)一步包括以下步驟：

(C1)測(cè)得光室內(nèi)的壓力，并傳送到判斷人員設(shè)備；

(C2)判斷人員設(shè)備根據(jù)接收到的壓力而判斷光室內(nèi)殘留的吹掃氣體是否滿足測(cè)量要求：

若判斷結(jié)果為是，繼續(xù)進(jìn)行分析；

若判斷結(jié)果為否，則向所述光室內(nèi)充入吹掃氣體，直到滿足測(cè)量的要求。

根據(jù)上述的分析方法，優(yōu)選地，在所述步驟(A2)中，判斷的方法為：

判斷人員設(shè)備根據(jù)接收到的電信號(hào)而獲得對(duì)應(yīng)于光室內(nèi)氣體含量的譜線強(qiáng)度，根據(jù)所述譜線強(qiáng)度而判斷光室內(nèi)氣體是否滿足測(cè)量的要求，所述光室內(nèi)氣體包括吹掃氣體。

根據(jù)上述的分析方法，可選地，所述光室內(nèi)氣體還包括進(jìn)入所述光室的外界氣體。

根據(jù)上述的分析方法，可選地，在向所述光室內(nèi)充入吹掃氣體時(shí)，在所述光室排出的氣體進(jìn)入炬室，用于吹掃等離子體尾焰或?yàn)榫婀芄狻?!-- SIPO -->

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有的有益效果為：

1、實(shí)現(xiàn)ICP光譜儀的自動(dòng)化實(shí)時(shí)智能吹掃，大大方便了用戶；

2、大幅減少了ICP光譜儀在工作過程中的吹掃氣消耗量，為用戶節(jié)省大量費(fèi)用。

附圖說明