[發明專利]ICP光譜分析系統及方法

有效

• 申請號: 201110461598.0
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN102565030A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 陳文益;俞曉峰
• 申請（專利權）人: 聚光科技(杭州)股份有限公司
• 主分類號: G01N21/73
• 分類號: G01N21/73
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.ICP光譜分析系統，所述分析系統包括炬管、光室，所述炬管設置在炬室內；其特征在于，所述分析系統進一步包括：

壓力或時間測量單元，輸出端連接判斷人員設備，所述壓力測量單元設置在所述光室內；

進氣閥門，所述進氣閥門設置在光室的進氣口上，輸入端連接控制人員設備；氣源通過所述進氣閥門與所述光室連通；

排氣閥門，所述排氣閥門設置在所述光室的排氣口，輸入端連接控制人員設備；

判斷人員設備，所述判斷人員設備用于根據壓力或時間測量單元傳送來的信號而判斷所述光室內的吹掃氣體是否滿足測量的要求，判斷結果傳送來控制人員設備；

控制人員設備，所述控制人員設備用于根據接收到的所述判斷結果而控制所述進氣閥門、排氣閥門的開啟、關閉。

2.根據權利要求1所述的分析系統，其特征在于：所述分析系統進一步包括：

排氣管，所述排氣管的一端連接所述炬室，另一端連接所述排氣口。

3.ICP光譜分析方法，所述分析方法包括以下步驟：

(A1)激發等離子體光源，該光源發出的測量光進入光室內，穿過光室內的吹掃氣體后，被探測器接收、轉換為電信號，并傳送到判斷人員設備；

所述光室與外界保持密封；

(A2)判斷人員設備根據接收到的所述電信號而獲知光室內氣體對所述測量光的衰減程度，從而判斷所述光室內的吹掃氣體是否滿足測量的要求：

若判斷結果為是，進入下一步驟；

若判斷結果為否，則向所述光室內充入吹掃氣體，直到滿足測量的要求，進入下一步驟；

(A3)待測物被所述光源激發而成為等離子體，發出的光進入光室，被所述探測器接收后轉換為電信號，分析單元利用光譜技術處理該電信號，從而獲知待測物中含量信息。

4.根據權利要求3所述的分析方法，其特征在于：所述分析方法進一步包括以下步驟：

(B1)測得光室內的壓力或上次待測物測量結束到目前的時間，并傳送到判斷人員設備；

(B2)判斷人員設備根據接收到的壓力或時間而判斷光室內殘留的吹掃氣體是否滿足測量要求：

若判斷結果為是，則進入步驟(A1)；

若判斷結果為否，則向所述光室內充入吹掃氣體，直到滿足測量的要求，進入步驟(A1)。

5.根據權利要求3所述的分析方法，其特征在于：所述分析方法進一步包括以下步驟：

(C1)測得光室內的壓力，并傳送到判斷人員設備；

(C2)判斷人員設備根據接收到的壓力而判斷光室內的吹掃氣體是否滿足測量要求：

若判斷結果為是，繼續進行分析；

若判斷結果為否，則向所述光室內充入吹掃氣體，直到滿足測量的要求。

6.根據權利要求3所述的分析方法，其特征在于：在所述步驟(A2)中，判斷的方法為：

判斷人員設備根據接收到的電信號而獲得對應于光室內氣體含量的衰減強度，根據所述衰減強度或衰減強度之比而判斷光室內氣體是否滿足測量的要求，所述光室內氣體包括吹掃氣體。

7.根據權利要求6所述的分析方法，其特征在于：所述光室內氣體還包括進入所述光室的外界氣體。

8.根據權利要求3所述的分析方法，其特征在于：在向所述光室內充入吹掃氣體時，在所述光室排出的氣體進入炬室，用于吹掃等離子體尾焰或為炬管供氣。