[發明專利]感光型聚酰亞胺有效
| 申請號: | 201110460714.7 | 申請日: | 2008-12-11 |
| 公開(公告)號: | CN102532544A | 公開(公告)日: | 2012-07-04 |
| 發明(設計)人: | 周孟彥;李傳宗 | 申請(專利權)人: | 長興化學工業股份有限公司 |
| 主分類號: | C08G73/10 | 分類號: | C08G73/10;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/037 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人: | 項丹 |
| 地址: | 中國臺灣高*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 感光 聚酰亞胺 | ||
1.一種具以下式(I)結構的感光型聚酰亞胺:
其中,
A為含有至少一個修飾基團R1的四價有機基團;
B及D為相同或不同的二價有機基團;
C為不含有修飾基團R1的四價有機基團,
m為大于0的整數;及
n為等于0或大于0的整數,
其中,修飾基團R1為選自下列基團所構成的群組:
其中,R2為含有乙烯基的不飽和基團。
2.如權利要求1所述的感光型聚酰亞胺,其中含有乙烯基的不飽和基團系選自以下基團:
其中R3為氫或甲基,及o與p各為0至6的整數。
3.如權利要求1所述的感光型聚酰亞胺,其中A系選自下列基團所構成的群組:
其中,
R1系具有如權利要求1的定義;
R4系-CH2-、-O-、-S-、-CO-、-SO2-、-C(CH3)2-或-C(CF3)2-;
R5系-H或-CH3;及
X系-O-、-NH-或-S-。
4.如權利要求3所述的感光型聚酰亞胺,其中A系選自下列基團所構成的群組:
其中,
R1系具有如權利要求1所述的定義。
5.如權利要求1所述的感光型聚酰亞胺,其中C系分別選自下列基團所構成群組:
其中,R4、R5及X系如權利要求3中所定義者;及
R6系-OH、-COOH或NH2。
6.如權利要求5所述的感光型聚酰亞胺,其中C系分別選自下列基團所構成群組:
7.如權利要求1所述的感光型聚酰亞胺,其中B與D的二價有機基團系各自選自由下列基團所構成群組:
其中,
R7系H、甲基或乙基;
R8系-H、C1-C4烴基、C1-C4全氟烴基、甲氧基、乙氧基、鹵素、OH、COOH、NH2或SH;
a為大于0的整數;
b為大于0的整數;
c為0至4的整數;
d為0至4的整數;及
R9為共價鍵或選自下列基團所構成的群組:
-O-、-S-、-CH2-、-S(O)2-、-C(CF3)2-、-C(O)-、-C(CH3)2-、
其中,w和x各自為大于0的整數,以及R11為-S(O)2-、-C(O)-、共價鍵或為經取代或未經取代的具有C1-C18的有機基團。
8.如權利要求7所述的感光型聚酰亞胺,其中B與D的二價有機基團系分別選自由下列基團所構成群組:
其中,y為1至12的整數。
9.一種感光性組成物,其包含如權利要求1所述的感光型聚酰亞胺,以及至少一光引發劑。
10.如權利要求9所述的感光性組成物,其中還包含一具有反應性的單體或低聚物。
11.如權利要求9所述的感光性組成物,其系應用于液態光阻或干膜光阻之用。
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