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[發明專利]感光型聚酰亞胺有效

專利信息
申請號: 201110460714.7 申請日: 2008-12-11
公開(公告)號: CN102532544A 公開(公告)日: 2012-07-04
發明(設計)人: 周孟彥;李傳宗 申請(專利權)人: 長興化學工業股份有限公司
主分類號: C08G73/10 分類號: C08G73/10;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/037
代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100 代理人: 項丹
地址: 中國臺灣高*** 國省代碼: 中國臺灣;71
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摘要:
搜索關鍵詞: 感光 聚酰亞胺
【權利要求書】:

1.一種具以下式(I)結構的感光型聚酰亞胺:

其中,

A為含有至少一個修飾基團R1的四價有機基團;

B及D為相同或不同的二價有機基團;

C為不含有修飾基團R1的四價有機基團,

m為大于0的整數;及

n為等于0或大于0的整數,

其中,修飾基團R1為選自下列基團所構成的群組:

其中,R2為含有乙烯基的不飽和基團。

2.如權利要求1所述的感光型聚酰亞胺,其中含有乙烯基的不飽和基團系選自以下基團:

其中R3為氫或甲基,及o與p各為0至6的整數。

3.如權利要求1所述的感光型聚酰亞胺,其中A系選自下列基團所構成的群組:

其中,

R1系具有如權利要求1的定義;

R4系-CH2-、-O-、-S-、-CO-、-SO2-、-C(CH3)2-或-C(CF3)2-;

R5系-H或-CH3;及

X系-O-、-NH-或-S-。

4.如權利要求3所述的感光型聚酰亞胺,其中A系選自下列基團所構成的群組:

其中,

R1系具有如權利要求1所述的定義。

5.如權利要求1所述的感光型聚酰亞胺,其中C系分別選自下列基團所構成群組:

其中,R4、R5及X系如權利要求3中所定義者;及

R6系-OH、-COOH或NH2

6.如權利要求5所述的感光型聚酰亞胺,其中C系分別選自下列基團所構成群組:

7.如權利要求1所述的感光型聚酰亞胺,其中B與D的二價有機基團系各自選自由下列基團所構成群組:

其中,

R7系H、甲基或乙基;

R8系-H、C1-C4烴基、C1-C4全氟烴基、甲氧基、乙氧基、鹵素、OH、COOH、NH2或SH;

a為大于0的整數;

b為大于0的整數;

c為0至4的整數;

d為0至4的整數;及

R9為共價鍵或選自下列基團所構成的群組:

-O-、-S-、-CH2-、-S(O)2-、-C(CF3)2-、-C(O)-、-C(CH3)2-、

其中,w和x各自為大于0的整數,以及R11為-S(O)2-、-C(O)-、共價鍵或為經取代或未經取代的具有C1-C18的有機基團。

8.如權利要求7所述的感光型聚酰亞胺,其中B與D的二價有機基團系分別選自由下列基團所構成群組:

其中,y為1至12的整數。

9.一種感光性組成物,其包含如權利要求1所述的感光型聚酰亞胺,以及至少一光引發劑。

10.如權利要求9所述的感光性組成物,其中還包含一具有反應性的單體或低聚物。

11.如權利要求9所述的感光性組成物,其系應用于液態光阻或干膜光阻之用。

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