[發(fā)明專利]鈷靶材的加工方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110456456.5 | 申請日： | 2011-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN102554569A | 公開（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學(xué)澤;陳玉蓉 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號： | B23P15/00 | 分類號： | B23P15/00;B24B19/00;B24B55/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 駱蘇華 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市余姚*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 鈷靶材 加工 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及靶材加工領(lǐng)域，特別是一種鈷靶材的加工方法。
背景技術(shù)
金屬鈷是銀白色過渡金屬，熔點為1493℃、比重為8.9，比較堅硬而脆，其延展性、硬度都比鐵強，但是磁性較差，金屬鈷主要用于制造超硬耐熱合金、磁性合金、碳化鎢的基體或粘合劑等。
鈷基合金是鈷和鉻、鎢、鐵、鎳組中的一種或幾種制成的合金的總稱。航空航天技術(shù)中應(yīng)用最廣泛的合金是鈷基合金，這是因為在高溫下，鈷基合金可以形成難熔的碳化物，這些碳化物不易轉(zhuǎn)為固溶體，擴散活動性小，在溫度在1038℃以上時，鈷基合金的優(yōu)越性就顯現(xiàn)無遺。在航空渦輪機的結(jié)構(gòu)材料使用含20％-27％鉻的鈷基合金，可以不要保護覆層就能使材料達高抗氧化性。
刀具中含有一定量鈷可以顯著地提高刀具的耐磨性和切削性能。含鈷50％以上的司太立特硬質(zhì)合金即使加熱到1000℃也不會失去其原有的硬度，如今這種硬質(zhì)合金已成為含金切削工具和鋁件用的最重要材料。在鈷基合金中，鈷可以將合金組成中其它金屬碳化物晶粒結(jié)合在一起，使合金具更高的韌性，并減少對沖擊的敏感性能，這種合金熔焊在零件表面，可使零件的壽命提高3-7倍。
此外，據(jù)報道美國試驗用的發(fā)電機的鍋爐就是用鈷合金制造的。鈷是磁化一次就能保持磁性的少數(shù)金屬之一。在熱作用下，失去磁性的溫度叫居里點，鐵的居里點為769℃，鎳為358℃，鈷可達1150℃。含有60％鈷的磁性鋼比一般磁性鋼的矯頑磁力提高2.5倍。在振動下，一般磁性鋼失去差不多1/3的磁性，而鈷鋼僅失去2％-3.5％的磁性。因而鈷在磁性材料上的優(yōu)勢就很明顯。鈷金屬在電鍍、玻璃、染色、醫(yī)藥醫(yī)療等方面也有廣泛應(yīng)用。
然而，鈷是一種高溫耐熱金屬，導(dǎo)熱系數(shù)小，在加工鈷靶材時局部升溫高，刀具容易磨損，且由于鈷較硬和脆，純鈷加工時容易出現(xiàn)反彈，刀具容易崩刀，鈷表面會形成很多相互交貫的裂紋，達不到鈷靶材濺射時，濺射面需達到的粗糙度，另外，鈷在高溫下容易與氧、氫、氮反應(yīng)，形成氧化物，不利于對其進行加工。
因此，提出一種鈷靶材的加工方法，以避免上述缺陷，成為目前亟待解決的問題之一。
有關(guān)鈷靶材的相關(guān)技術(shù)可以參見公開號為CN1635176的中國專利申請。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問題是提供一種鈷靶材的加工方法，使得最終獲得的鈷靶材的濺射面的粗糙度符合濺射要求，且避免加工過程中刀具容易磨損甚至崩刀，高溫下容易與氧、氫、氮反應(yīng)，形成氧化物的問題。
為解決上述問題，本發(fā)明提供一種鈷靶材的加工方法，包括：
提供鈷靶材；
對所述鈷靶材表面進行切削；
對切削后的鈷靶材表面進行磨削，所述磨削采用金剛石砂輪或立方氮化硼砂輪，所述金剛石砂輪的砂輪線速為15米/秒～35米/秒、立方氮化硼砂輪的砂輪線速為20米/秒～40米/秒，磨削吃刀量為0.005～1毫米。
可選的，所述鈷靶材的加工方法，還包括在磨削過程中采用噴霧方式冷卻。
可選的，所述噴霧為酒精。
可選的，采用PCBN刀具對所述鈷靶材表面進行切削，所述PCBN刀具轉(zhuǎn)速范圍為250～300轉(zhuǎn)/秒，進給量為0.03～0.08毫米/轉(zhuǎn)，背吃刀量為0.01～0.05毫米。
可選的，所述PCBN刀具中CBN的含量為80％。
可選的，采用所述PCBN刀具對所述鈷靶材表面進行切削時，采用全周夾具固定所述鈷靶材。
可選的，所述PCBN刀具的參數(shù)為：前角g0范圍為0～10°，后角a0范圍為8～10°，主偏角kr范圍為45～75°，刀尖修圓半徑re范圍為0.4～0.6mm。
可選的，所述提供的鈷靶材是焊接在背板上的。
可選的，所述鈷靶材的加工方法還包括：在將所述鈷靶材焊接在背板上之后，對所述鈷靶材表面進行切削之前，對所述鈷靶材進行彎曲度校正、半精加工。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點：
本發(fā)明提供的鈷靶材的加工方法，對切削后的鈷靶材表面進行磨削，所述磨削采用金剛石砂輪或立方氮化硼砂輪，所述金剛石砂輪的砂輪線速為15米/秒～35米/秒、立方氮化硼砂輪的砂輪線速為20米/秒～40米/秒，磨削吃刀量為0.005～1毫米，使得經(jīng)過切削后的鈷靶材表面的粗糙度進一步的降低，獲得了符合濺射需求的鈷靶材。
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